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【新聞報道】

『補強枠の接続と電鋳を同時に-MEPJ,産学で開発-』,日刊工業新聞,2008.9.25.

【著書・総説・解説】

柴田隆行,「MEMSへの技術展望」,ダイヤモンドエレクトロニクスの最前線, シーエムシー出版,東京,pp.299-323, 2008.

柴田隆行,川島貴弘,「電鋳法によるマイクロインプリント用金型の作製技術」,微細転写・加工技術全集, 技術情報協会,東京,pp.221-234, 2008.

柴田隆行,「圧電材料,超磁歪材料,形状記憶合金」, 電気学会技術報告 第1122号(D部門)「医用アクチュエーション技術の現状」, 電気学会(産業応用部門リニアドライブ委員会),東京,pp.18-23, 2008.

【原著論文】

T. Mineta, Y. Tanahashi, E. Makino, S. Toh, T. Kawashima, T. Shibata, "Thermal Type Blood Flow Sensor on Titanium Micro Needle", Sens. Mater., 20 (7), pp.341-349, 2008.

T. Shibata, Y. Takahashi, T. Kawashima, T. Kubota, M. Mita, T. Mineta, E. Makino, "Micromachining of Electroformed Nickel Mold using Thick Photoresist Microstructure for Imprint Technology", Microsyst. Technol., 14 (9-11), pp.1359-1365, 2008.

峯田 貴,久保 悠,牧口大輔,牧野英司,川島貴弘,柴田隆行, 「TiNi合金フラッシュ蒸着膜の柔軟性へ及ぼす成膜温度および熱処理の影響」, 表面技術,59 (9), pp.615-620, 2008.

T. Hayashi, T. Shibata, T. Kawashima, E. Makino, T. Mineta, T. Masuzawa, "Photolithography System with Liquid Crystal Display as Active Gray-Tone Mask for 3D Structuring of Photoresist", Sens. Actuators A, 144 (2), pp.381-388, 2008.

T. Mineta, N. Kida, S. Nomura, E. Makino, T. Sugawara, S. Toh, T. Shibata, "Pulsation Sensor Integrated with Microvascular Holding Actuator for Thrombosis Monitoring", Sens. Actuators A, 143 (1), pp.14-19, 2008.

M. Nomura, T. Kawashima, T. Shibata, Y. Murakami, M. Masuda, O. Horiuchi, "Development of a Prototype of Radial Encoder to Measure Spindle Radial Motion", Academic Journal of Manufacturing Engineering, 6 (4), pp.84-89, 2008.

【招待講演】

柴田隆行,『オンチップ細胞機能解析システムを実現するMEMSデバイスの開発』, (独)日本学術振興会「将来加工技術第136委員会 第29回研究会」,東京,2008.

柴田隆行,『細胞機能解析用MEMSデバイスの設計支援シミュレーション』, 日本塑性加工学会「プロセッシング計算力学分科会 第20回セミナー」,京都,2008.

【国際会議】

T. Shibata, N. Kato, T. Sakai, T. Kawashima, M. Nomura, T. Mineta, E. Makino, "Fabrication and Fluid Ejection Performance of Microneedle Array for Cellular Function Analysis", Proceedings of The 3rd JSME/ASME International Conference on Materials and Processing (ICM&P 2008), Evanston, IL, USA, CDROM (4pp), 2008.

T. Kawashima, T. Shibata, "Characterization of Microfabricated Devices for Cellular Network Analysis", Proceedings of The 9th Japan-Korea Joint Workshop on Advanced Semiconductor Processes and Equipments (ASPE 2008), Shikabe, Japan, pp.178-181, 2008.

T. Shibata, S. Yamanaka, N. Kato, T. Kawashima, M. Nomura, T. Mineta, E. Makino, "Fabrication of Micromanipulator Array for Cell Patterning", Extended Abstract of The 34th International Conference on Micro and Nano Engineering 2008 (MNE 2008), Athenes, Greece, p.526, 2008.

T. Kawashima, T. Shinmachi, T. Shibata, M. Nomura, T. Kimura, A. Kishida, T. Mineta, E. Makino, "Fabrication of Spatial Cell Patterning Device for Cellular Network Analysis", Extended Abstract of The 34th International Conference on Micro and Nano Engineering 2008 (MNE 2008), Athenes, Greece, p.529, 2008.

E. Makino, K. Kasai, Y. Sasaki, T. Mineta, T. Kawashima, T. Shibata, "Flash-Evaporated TiNiCu Thick Film for Shape Memory Alloy Micro Actuator", Extended Abstract of The 34th International Conference on Micro and Nano Engineering 2008 (MNE 2008), Athenes, Greece, p.372, 2008.

T. Kawashima, T. Shibata, T. Sakai, N. Kato, M. Nomura, T. Mineta, E. Makino, "Insertion Performance of Hollow Microneedle Array for Cell Surgery", Proceedings of The 4th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2008), Tainan, Taiwan, pp.241-244, 2008.

Y. Tanahashi, T. Mineta, E. Makino, S. Toh, T. Shibata, "Thermal Type Blood Flow Sensor Integrated with Ti Micro Needle", Proceedings of The 4th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2008), Tainan, Taiwan, pp.182-185, 2008.

S. Morita, T. Mineta, E. Makino, T. Shibata, "Fabrication of Novel Si Dual AFM Tips with Narrow Gap", Proceedings of The 4th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2008), Tainan, Taiwan, pp.90-93, 2008.

M. Nomura, T. Kawashima, T. Shibata, Y. Murakami, M. Masuda, O. Horiuchi, "Development of a Prototype of Radial Encoder", Proceedings of The 2nd International Conference on Computing and Solutions in Manufacturing Engineering (CoSME 08), Brasov, Romania, pp.361-366, 2008.

M. Nomura, T. Kawashima, Y. Murakami, O. Horiuchi, T. Shibata, "A Study on Small Hole Drilling", Proceedings of The 3rd CIRP International Conference on High Performance Cutting 2008 (CIRP HPC 2008), Dublin, Ireland, Vol. 2, pp.539-548, 2008.

【国内学会】

酒井貴浩,岡 亮太郎,柴田隆行,川島貴弘,峯田 貴,牧野英司, 「マイクロニードルアレイを用いたマスクレス微細パターニング技術の開発 -微細めっきパターン形成のための基礎的検討-」, 日本機械学会第7回生産加工・工作機械部門講演会,岐阜,pp.115-116, 2008.

田中真二,柴田隆行,川島貴弘,久保田俊夫,御田 護, 「微細パターニングのためのダイレクトインプリント技術の開発」, 日本機械学会第7回生産加工・工作機械部門講演会,岐阜,pp.117-118, 2008.

新町拓也,岡田隆志,Siti Intan Suraya,川島貴弘,柴田隆行,木村 剛,岸田晶夫, 「細胞ネットワーク機能解析のためのマイクロ空間細胞配列デバイスの開発-細胞配列の可能性の検討-」, 日本機械学会第7回生産加工・工作機械部門講演会,岐阜,pp.119-120, 2008.

N. Kato, T. Shibata, T. Kawashima, T. Mineta, E. Makino, "Development of Bioprobe Integrated with Microneedle for Cellular Function Analysis", The 25th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems, Okinawa, pp.190-194, 2008.

T. Mineta, T. Deguchi, E. Makino, T. Kawashima, T. Shibata, "Fabrication of Cylindrical Micro Actuator by Etching of TiNiCu Shape Memory Alloy Tube", The 25th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems, Okinawa, pp.42-45, 2008.

猿田基樹,古谷友樹,柴田隆行,川島貴弘,久保田 俊夫,御田 護, 「ニッケル電鋳金型を用いたマイクロインプリント技術の開発(第2報) -インプリント用金型の新しい作製技術の提案-」, 2008年度精密工学会秋季大会学術講演会,仙台,pp.710-702, 2008.

加藤統久,柚木園 諭,柴田隆行,川島貴弘,峯田 貴,牧野英司, 「細胞機能解析のためのマイクロニードル搭載型バイオプローブの開発(第3報) -バイオプローブの作製と基本性能の評価-」, 2008年度精密工学会秋季大会学術講演会,仙台,pp.709-710, 2008.

Ma Boxiao,野村光由,柴田隆行,村上良彦,堀内 宰,桝田正美, 「極小径ドリル加工に関する研究-極小径超硬ドリル材料の回転曲げ疲労強度試験-」, 2008年度精密工学会秋季大会学術講演会,仙台,pp.27-28, 2008.

片岡篤司,野村光由,柴田隆行,村上良彦,堀内 宰,桝田正美, 「極小径エンドミルによる微細加工に関する基礎研究-極小径エンドミル加工における切削力-」, 2008年度精密工学会秋季大会学術講演会,仙台,pp.113-114, 2008.

高橋 渉,野村光由,柴田隆行,村上良彦,堀内 宰,桝田正美, 「極小径エンドミル加工における切削条件の最適化」, 2008年度精密工学会秋季大会学術講演会,仙台,pp.115-116, 2008.

木本誠二,野村光由,柴田隆行,村上良彦,堀内 宰,桝田正美, 「アキシャルエンコーダの試作」,2008年度精密工学会秋季大会学術講演会,仙台,pp.583-584, 2008.

棚橋祐輝,峯田 貴,牧野英司,藤 哲,柴田隆行, 「血栓検出のための熱型マイクロ血流センサ」,第47回日本生体医工学会大会,神戸,p.248, 2008.

川島貴弘,新町拓也,柴田隆行,峯田 貴,牧野英司, 「細胞ネットワーク機能解析のためのマイクロ空間細胞配列チップの開発-細胞を模擬した微粒子の配列実験-」, 2008年度精密工学会春季大会学術講演会,川崎,pp.825-826, 2008.

山中信司,柴田隆行,川島貴弘,峯田 貴,牧野英司, 「セルパターニングのための細胞操作用マイクロマニピュレータアレイの開発(第1報) -吸盤型マイクロニードルの作製-」, 2008年度精密工学会春季大会学術講演会,川崎,pp.827-828, 2008.

酒井貴浩,柴田隆行,川島貴弘,峯田 貴,牧野英司, 「オンチップ細胞サージェリーシステムのためのマイクロニードルアレイの開発(第3報) -液体注入および穿刺性能の評価-」, 2008年度精密工学会春季大会学術講演会,川崎,pp.835-836, 2008.

Sintrakarnpon Sethapon,野村光由,村上良彦,堀内 宰,柴田隆行, 「微小径エンドミル加工に関する研究-極小径エンドミルの切削力解析-」, 2008年度精密工学会春季大会学術講演会,川崎,pp.151-152, 2008.

片岡篤司,野村光由,堀内 宰,柴田隆行,村上良彦, 「ラジアルエンコーダの試作」,2008年度精密工学会春季大会学術講演会,川崎,pp.513-514, 2008.

Ma Boxiao,柴田隆行,村上良彦,堀内 宰, 野村光由,「 微小径ドリル加工に関する研究」,2008年度精密工学会春季大会学術講演会,川崎,pp.579-580, 2008.

葛西恒二,佐々木祐希,峯田 貴,牧野英司,柴田隆行, 「フラッシュ真空蒸着によるTiNiCu 形状記憶合金厚膜の形成」,表面技術協会第117回講演大会,習志野,p.97, 2008.

盛田慎二,峯田 貴,牧野英司,柴田隆行, 「近接デュアルAFMプローブ形成のためのSiナノマシニング」,表面技術協会第117回講演大会,習志野,p.240, 2008.

棚橋祐輝,峯田 貴,牧野英司,柴田隆行, 「Ti電解エッチングによる微細パターンの形成」,表面技術協会第117回講演大会,習志野,p.273, 2008.

脇坂健司,松澤勇太,柴田隆行,川島貴弘,増澤 徹,岸田晶夫, 「細胞機能制御のための圧電駆動型マイクロ細胞培養チップの開発」, 日本機械学会東海支部第57期総会・講演会,名古屋,pp.141-142, 2008.

長目 淳,田中真二,柴田隆行,川島貴弘,久保田 俊夫,御田 護, 「微細パターニングのためのダイレクトインプリント技術の開発」, 日本機械学会東海支部第57期総会・講演会,名古屋,pp.143-144, 2008.

加藤統久,伊藤雅仁,柴田隆行,川島貴弘,峯田 貴,牧野英司, 「細胞機能解析のためのマイクロニードル搭載型AFMプローブの開発」, 日本機械学会東海支部第57期総会・講演会,名古屋,pp.147-148, 2008.

【特許】

柴田隆行,久保田俊夫,御田 護,木曽裕次,山本 仁, 「電鋳品及びその製造方法」,特願2008-9422(出願日2008.1.18).

【修士論文(2008年度)】

酒井 貴浩,『マイクロニードルアレイを用いたマスクレス微細パターニング技術の開発』

猿田 基樹,『ニッケル電鋳金型を用いたマイクロインプリント技術の開発』

新町 拓也,『細胞ネットワーク機能解析のためのマイクロ空間細胞配列デバイスの開発』

山中 信司,『セルパターニングのための細胞操作用マイクロマニピュレータアレイの開発』

片岡 篤司,『切削力測定による極小径ミーリングのメカニズム解明』