Toyohashi University of Tecnology
 豊橋技術科学大学

寄附講座
オーエスジーナノマイクロ加工学講座

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Dept. Production Systems Engineering OSG Nano/Micro Machining Laboratory
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トップページ 研究内容 メンバー リンク 生産加工研究会
  近年,半導体や各種電子機器の製造分野において,エンドミルによる微細加工の需要が増えてきている.また半導体や各種電子機器のさらなる極小化,多機能化により刃径100ミクロン以下の微細加工の要求が高まりつつある.しかし,極小径エンドミルおよびドリル加工を行う場合,切削力の測定が困難なために適切な切削条件を把握することが難しく,長い工具寿命,高い加工特性(切削能率,形状精度,仕上げ面粗さ等)を実現するのが非常に困難である.このような背景の下で,極小径工具による高能率・高精度な微細加工ができる適切な切削条件を把握することが強く求められている.
 そこで本研究では,
3次元複雑微細構造創製のために,極小径工具による超精密微細加工技術の開発に関する研究を行っている.
研究内容

極小径工具による超精密微細加工に関する研究