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マイクロ・ナノ構造創成技術


 MEMSが半導体デバイスと大きく異なる点は,構造体としての“かたち”そのものに “機能”を果たす重要な役割が与えられていることにあります. 言い換えれば,“かたち”を創出する自由度が“機能”の多様性を生み出すことになります. このため,革新的な新機能を有するMEMSデバイスの創出には,異分野を横断・融合した新たな マイクロ・ナノ構造創成技術の開発が必要不可欠となります. 本研究室では,MEMS技術を用いて特殊な工具を創製することで, 独創的・先進的なマイクロ・ナノ加工技術の開発に取り組んでいます. 特に,半導体製造技術とは異なった,“マスクレス&真空レス”での量産技術の確立を目指しています.


キーワード: ナノ加工,ナノ計測,マイクロ・ナノインプリント技術,ダイレクトインプリントリソグラフィ, マスクレス微細パターニング,高品位マイクロ穴加工




ダイヤモンドAFMプローブを用いたナノ計測一体型超微細加工システムの開発

微細パターニングを実現するダイレクトインプリントリソグラフィ技術

Ni電鋳金型を用いたマイクロインプリント技術

マイクロニードルアレイ工具を用いた高品位・高能率マイクロ穴加工技術

マイクロニードルアレイを用いたマスクレス微細めっきパターン形成技術