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医用MEMS/集積化MEMS(センシング技術)


生体や環境情報のin situ(その場で)かつ高感度センシングを実現するためには,小型化・集積化したセンサが 必須となります.本研究テーマでは,MEMS技術ならびに集積回路技術を駆使し,物理的・化学的な変化量を検出する 新たなセンシングデバイスの実現を目指しています.中でも,医療・医薬分野への応用を目指した医用MEMSや マイクロ構造体や検出部をアレイ化した集積化MEMSの研究開発に取り組んでいます.

キーワード: AE(アコースティックエミッション)検出,圧力モニタリング,センサ,集積回路技術,MEMS




アコースティック・エミッション検出のための集積化MEMSセンサの開発

体内埋め込み型マイクロ圧力センサの開発