マイクロ・ナノ構造創成技術

マイクロ・ナノ構造創成技術

MEMSが半導体デバイスと大きく異なる点は，構造体としての“かたち”そのものに “機能”を果たす重要な役割が与えられていることにあります．言い換えれば，“かたち”を創出する自由度が“機能”の多様性を生み出すことになります．このため，革新的な新機能を有するMEMSデバイスの創出には，異分野を横断・融合した新たな マイクロ・ナノ構造創成技術の開発が必要不可欠となります．

本研究室では，MEMS技術を用いて特殊な工具を創製することで， 独創的・先進的なマイクロ・ナノ加工技術の開発に取り組んでいます．特に，半導体製造技術とは異なった，“マスクレス＆真空レス”での量産技術の確立を目指しています．

キーワード： ナノ加工，ナノ計測，マイクロ・ナノインプリント技術，ダイレクトインプリントリソグラフィ， マスクレス微細パターニング，高品位マイクロ穴加工