生物融合型MEMS（アクチュエーション技術）

MEMS(Micro Electro Mechanical System)デバイスをさらに応用する場合，シス テム全体の小型化の課題があります．多くのMEMS素子の駆動には，主に電気エネルギの供給が必要であ り，このエネルギは外部供給されます．このため装置全体のサイズが大型化し，携帯性は悪くなります．この課題を克服するため，生物 のアクチュエー タ（バイオアクチュエータ）を利用したシステムの構築を行っています．これにより駆動用装置を取り除く，また人工物では難しい動きの実現ができます．

具体的には2種類のデバイス開発を行なっています．

・ツリガネムシの柄を用いた流体制御素子（フローレギュレータ）の作製
・ツリガネムシの繊毛を用いた流体輸送素子（マイクロミキサ）の開発