体内埋め込み型マイクロ圧力センサの開発

体内埋め込み型マイクロ圧力センサの開発

近年，MEMS技術を医用センサに応用して常に体内の状態を監視するための埋め込み型センサに関する研究が 盛んに行われており，脳神経活動計測や血糖値の測定など，その適用範囲は多岐にわたっています． その対象の一つとして，個人の健康状態をモニタリングすることを目的として血圧や眼圧などを計測するための 圧力センサが開発されてきています．本研究では，そういった圧力の微小な変化をモニタリングすることを可能とする マイクロ圧力センサの開発を行っています．センサ構造は，ポリイミド基板をダイアフラムとし， その上にTiを成膜することでひずみゲージ部を形成することで実現されています（図1）． 今後は，微小圧力に対する出力特性の評価，体内埋め込みにおいて大きな課題の一つである 生体適合性の付与などを行っていきます．

図1　体内埋め込み型マイクロ圧力センサ