• アコースティック・エミッション検出のための
  集積化MEMSセンサの開発
• 体内埋め込み型マイクロ圧力センサの開発

医用MEMS／集積化MEMS（センシング技術）

生体や環境情報のin situ（その場で）かつ高感度センシングを実現するためには，小型化・集積化したセンサが 必須となります．本研究テーマでは，MEMS技術ならびに集積回路技術を駆使し，物理的・化学的な変化量を検出する 新たなセンシングデバイスの実現を目指しています．中でも，医療・医薬分野への応用を目指した医用MEMSや マイクロ構造体や検出部をアレイ化した集積化MEMSの研究開発に取り組んでいます．