受賞

柴田隆行，第26回永井科学技術財団賞「学術賞」， 『マイクロ・ナノ構造創成技術の開発とMEMSデバイスへの応用』，2009.

松澤勇太（大学院生），第25回ライフサポート学会大会「バリアフリーシステム開発財団奨励賞Finalist」， 『オンチップ細胞機能制御のための圧電駆動型マイクロ細胞培養デバイスの開発』，2009.

須藤　正（大学院生），2009年度精密工学会秋季大会学術講演会「ベストポスタープレゼンテーション賞」， 『ダイヤモンドAFMプローブを用いたナノ計測一体型超微細加工システムの開発（第2報） －Siカンチレバー上への先鋭化ダイヤモンド探針の形成－』，2009.

著書・総説・解説

柴田隆行，「インプリント用電鋳金型の最新動向」，成形加工，21 (4), pp.178-182, 2009.

原著論文

T. Kawashima, T. Sakai, N. Kato, T. Shibata, M. Nomura, T. Mineta, E. Makino, “Mechanical Characterization and Insertion Performance of Hollow Microneedle Array for Cell Surgery”, J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS, 8 (3), 033014 (7pp), 2009.

S. Morita, T. Mineta, E. Makino, A. Umino, T. Kawashima, T. Shibata, “Fabrication of Novel Silicon Dual Atomic Force Microscope Tip with Narrow Gap”, J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS, 8 (2), 021117 (5pp), 2009.

T. Mineta, K. Kasai, Y. Sasaki, E. Makino, T. Kawashima, T. Shibata, “Flash-Evaporated TiNiCu Thick Film for Shape Memory Alloy Micro Actuator”, Microelectron. Eng., 86 (4-6), pp.1274-1277, 2009.

T. Shibata, S. Yamanaka, N. Kato, T. Kawashima, M. Nomura, T. Mineta, E. Makino, “Fabrication of Micromanipulator Array for Cell Patterning”, Microelectron. Eng., 86 (4-6), pp.1439-1442, 2009.

T. Mineta, T. Takada, E. Makino, T. Kawashima, T. Shibata, “A Wet Abrasive Blasting Process for Smooth Micromachining of Glass by Ductile-mode Removal”, J. Micromech. Microeng., 19 (1), 015031 (8pp), 2009.

M. Nomura, T. Kawashima, T. Shibata, Y. Murakami, M. Masuda, O. Horiuchi, “Study on Unique Cutting Phenomena in Micro Endmilling – Mechanism and Possibility to Occur -“, Adv. Mater. Res., 76-78, pp.508-513, 2009.

M. Nomura, T. Kawashima, T. Shibata, Y. Murakami, M. Masuda, O. Horiuchi, “Development of Axial Encoder to Measure Spindle Axial Motion”, Int. J. Automation Technol., 3 (3), pp.286-291, 2009.

B. Ma, M. Nomura, T. Kawashima, T. Shibata, Y. Murakami, M. Masuda, O. Horiuchi, “Study on Micro Drilling – Rotating Bending Fatigue of Micro Carbide Drills -, Key Eng. Mater., 407-408, pp.45-48, 2009.

招待講演

T. Shibata, N. Kato, T. Kawashima, “Novel MEMS Devices for Massively Parallel Manipulation and Analysis of Single Cells”, International Symposium on LifeChips (LifeChips 2009), Irvine, CA, USA, 2009.

柴田隆行，川島貴弘，『細胞操作用MEMSと医用アクチュエーション』， 平成21年度電気学会産業応用部門大会，津，2009.

柴田隆行，『マスクレス微細加工技術とオンチップ細胞操作用MEMSデバイス』， （財）にいがた産業創造機構「第5回にいがたナノテク研究会」，長岡，2009.

柴田隆行，『マスクレス微細加工技術と細胞操作用MEMS』， （財）マイクロマシンセンター「第19回マイクロナノ先端技術交流会」，東京，2009.

柴田隆行，『微細加工技術とバイオ・医療用MEMSデバイス』， （財）山形県産業技術振興機構「超精密技術融合プロセス検討会」，山形，2009.

柴田隆行，『MEMS技術によるイノベ－ションの創出と異分野融合』， 第297回 東三河産学官交流サロン」，豊橋，2009.

国際会議

T. Kawashima, Y. Matsuzawa, T. Shibata, M. Nomura, T. Masuzawa, A. Kishida, “Characterization of Cell Culture Microdevice Integrated with Piezoelectric Thin Film Actuator for Delivering Mechanical Vibratory Stimuli to Cells”, Proceedings of The 3rd International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN 2009), Kitakyushu, Japan, CDROM (4pp), 2009.

T. Kitahara, S. Kanai, T. Shibata, T. Kawashima, “Process Planning System for MEMS Device using a 3D Geometric Model”, Proceedings of The 3rd International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN 2009), Kitakyushu, Japan, CDROM (5pp), 2009.

N. Kato, T. Shibata, R. Oka, T. Sakai, T. Kawashima, M. Nomura, T. Mineta, E. Makino, “Experimental and Computational Analysis of Microfluid Ejection Process using Microneedle for Cell Surgery”, Proceedings of The 13th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2009), Jeju. Korea, pp.716-718, 2009.

T. Shibata, T. Kawashima, T. Kubota, M. Mita, “Direct Polymer Transfer Lithography for Fine Patterning”, Extended Abstract of The 35th International Conference on Micro and Nano Engineering 2009 (MNE 2009), Ghent, Belgium, CDROM (2pp), 2009.

N. Kato, T. Shibata, T. Kawashima, T. Mineta, E. Makino, “Micromachining of Newly Designed AFM Probe Integrated with Hollow Microneedle for Cellular Function Analysis”, Extended Abstract of The 35th International Conference on Micro and Nano Engineering 2009 (MNE 2009), Ghent, Belgium, CDROM (2pp), 2009.

T. Kawashima, T. Kimura, T. Okada, T. Shibata, M. Nomura, A. Kishida, “Feasibility Study on Cellular Network Analysis with Patterned Cell Culture Microdevice”, Extended Abstract of The 35th International Conference on Micro and Nano Engineering 2009 (MNE 2009), Ghent, Belgium, CDROM (2pp), 2009.

E. Makino, T. Mineta, K. Kasai, T. Arisaka, T. Kawashima, T. Shibata, “Flash Evaporated SMA Thick Films for Medical Micro Actuators”, Extended Abstract of The 35th International Conference on Micro and Nano Engineering 2009 (MNE 2009), Ghent, Belgium, CDROM (2pp), 2009.

M. Ozaki, N. Kida, T. Mineta, E. Makino, S. Toh, T. Kawashima, T. Shibata, “Heating and Actuation Characteristics of Shape Memory Thin Film Actuator for Blood Vessel Holding and Releasing”, Proceedings of The 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2009), Denver, Colorado, USA, pp.1770-1773, 2009.

N. Kato, T. Sakai, T. Shibata, T. Kawashima, T. Mineta, E. Makino, “Fabrication of Novel Designed AFM Probe Integrated with Microneedle for Cellular Function Analysis”, Proceedings of The 9th European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen 2009), San Sebastian, Spain, Vol. II, pp.154-157, 2009.

T. Shibata, T. Sutou, T. Kawashima, M. Nomura, T. Mineta, E. Makino, “Fabrication of AFM Probe Integrated with High-Aspect-Ratio Diamond Tip”, Proceedings of The 9th European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen 2009), San Sebastian, Spain, Vol. II, pp.162-165, 2009.

N. Kato, T. Shibata, T. Kawashima, T. Mineta, E. Makino, “Development of Bioprobe Integrated with Microneedle for Cellular Function Analysis”, Extended Abstract of The 5th International Conference and Exhibition on Device Packaging (DPC 2009), Arizona, USA, pp.131-132, 2009.

N. Kato, T. Kawashima, T. Shibata, “Development of Novel Designed AFM probe Integrated with Microneedle for Cellular Function Analysis”, International Symposium on LifeChips (LifeChips 2009), Irvine, CA, USA, 2009.

M. Nomura, A. Kataoka, T. Kawashima, T. Shibata, Y. Murakami, M. Masuda, O. Horiuchi, “Study on Micro End Milling Using Precise Cutting Force Measurement”, Proceedings of The 5th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21), Osaka, Japan, pp.639-642, 2009.

B. Ma, M. Nomura, T. Kawashima, T. Shibata, Y. Murakami, M. Masuda, O. Horiuchi, “Study on Micro Hole Drilling – Rotating Bending Fatigue of Micro Carbide Drills -“, The 9th International Conference on Progress of Machining Technology (ICPMT 2009), Kunming, China, 2009.

国内学会

T. Kawashima, Y. Matsuzawa, T. Shibata, T. Masuzawa, T. Kimura, A. Kishida, “Characterization of Cell Culture Microdevice Actuated by Piezoelectric Thin Film for Delivering Mechanical Vibratory Stimuli to Cells”, The 26th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems, Tokyo, pp.463-466, 2009.

松澤勇太，柴田隆行，川島貴弘，増澤　徹，木村　剛，岸田晶夫， 「オンチップ細胞機能制御のための圧電駆動型マイクロ細胞培養デバイスの開発」， 第7回生活支援工学系学会連合大会，高知，pp.92-93, 2009.

田中真二，近藤賢太，柴田隆行，川島貴弘，久保田　俊夫，御田　護， 「マスクレス微細パターニングのためのダイレクトインプリント技術の開発（第1報） －銅配線パターン形成における表面濡れ性の影響－」， 2009年度精密工学会秋季大会学術講演会，神戸，pp.13-14, 2009.

加藤統久，堀池修平，柴田隆行，川島貴弘，峯田　貴，牧野英司， 「細胞機能解析のためのマイクロニードル搭載型バイオプローブの開発（第4報） －マイクロニードルの機械的強度およびAFM計測性能の評価－」， 2009年度精密工学会秋季大会学術講演会，神戸，pp.33-34, 2009.

須藤　正，丸野和浩，柴田隆行，川島貴弘，安武正敏， 「ダイヤモンドAFMプローブを用いたナノ計測一体型超微細加工システムの開発（第2報） －Siカンチレバー上への先鋭化ダイヤモンド探針の形成－」， 2009年度精密工学会秋季大会学術講演会，神戸，pp.35-36, 2009.

野村光由，片岡篤司，柴田隆行，村上良彦，堀内　宰，桝田正美， 「微小径エンドミル加工における切削力測定に関する研究」， 2009年度精密工学会秋季大会学術講演会，神戸，pp.639-640, 2009.

加藤統久，柴田隆行，川島貴弘，峯田　貴，牧野英司， 「高機能セローム解析のためのマイクロニードル搭載型AFMプローブの開発」， 第48回日本生体医工学会大会，東京，p.116, 2009.

川島貴弘，木村　剛，新町拓也，Siti Intan Suraya，岡田隆志，柴田隆行，岸田晶夫， 「細胞ネットワーク機能解析のためのマイクロ空間細胞配列デバイスの開発－細胞パターニングの基礎的検討－」， 第48回日本生体医工学会大会，東京，p.432, 2009.

松澤勇太，柴田隆行，川島貴弘，増澤　徹，岸田晶夫， 「オンチップ細胞機能制御のための圧電駆動型マイクロ細胞培養デバイスの開発」， 日本機械学会東海支部第58期総会・講演会，岐阜，pp.59-60, 2009.

須藤　正，柴田隆行，川島貴弘，安武正敏， 「ナノ計測一体型超微細加工システムのためのダイヤモンドAFMプローブの開発」， 日本機械学会東海支部第58期総会・講演会，岐阜，pp.61-62, 2009.

猿田基樹，古谷友樹，柴田隆行，川島貴弘，久保田　俊夫，御田　護， 「ニッケル電鋳金型を用いたマイクロインプリント技術の開発（第3報） －補強枠付ニッケル電鋳金型のインプリント性能－」， 2009年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp.739-740, 2009.

岡　亮太郎，酒井貴浩，柴田隆行，川島貴弘，峯田　貴，牧野英司， 「オンチップ細胞サージェリーシステムのためのマイクロニードルアレイの開発（第4報） －微小流体吐出モデルの提案－」，2009年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp.743-744, 2009.

山中信司，森川廣基，柴田隆行，川島貴弘，峯田　貴，牧野英司， 「セルパターニングのための細胞操作用マイクロマニピュレータアレイの開発（第2報） －吸盤型マイクロニードルの微粒子捕獲性能－」，2009年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp.747-748, 2009.

堀内　宰，野村光由，柴田隆行，村上良彦，桝田正美， 「極小径エンドミル加工における特異な切削現象－メカニズムと生起可能性について－」， 2009年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp.597-598, 2009.

修士論文（2009年度）

伊藤　雅仁，『経皮ドラッグデリバリーのための無痛マイクロニードルアレイの開発』

須藤　正，『ナノ計測一体型超微細加工システムのためのダイヤモンドAFMプローブの開発』

田中　真二，『マスクレス微細パターニングのためのダイレクトインプリント技術の開発』

松澤　勇太，『オンチップ細胞機能制御のための圧電駆動型マイクロ細胞培養デバイスの開発』

Ma Boxiao，『微小径エンドミル加工における工具寿命に関する研究』