国立大学法人 豊橋技術科学大学 機械工学系 マイクロ・ナノ機械システム研究室
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マイクロ・ナノ構造創成技術
オンチップ細胞機能解析システム(Cellular MEMS)
医用MEMS/集積化MEMS(センシング技術)
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