受賞

山本紘太（学部生），精密工学会東海支部「学生優秀賞」，2015.

谷崎耕平（大学院生），ライフサポート学会「奨励賞」， 『ツリガネムシと人工構造体を融合したバイオマイクロシステムの開発』，2015.

宮本篤真，曽我智史（大学院生），平成26年度豊橋技術科学大学「学生表彰（学術研究活動）」， 『MEMS-based Dispenser Array for Selective Immobilization of Molecular Recognition Elements on Bio-image Sensor』，2015.

著書・総説・解説

Moeto Nagai,Micro fingers for arranging single cells–Development of hollow microprobe array for handling single cells in a parallel layout–,EurekAlert! Science News, Public Release

永井 萌土,E部門発足20周年記念特集 ～未来に向けて（若手研究者の夢）～：生物と人工物を融合したマイクロシステムの実用化 ,電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）,Vol. 135, No. 7 , p. PNL7_3

原著論文

Moeto Nagai, Michihito Oguri, and Takayuki Shibata, “Characterization of light-controlled Volvox as movable microvalve element assembled in multilayer microfluidic device”， Japanese Journal of Applied Physics，Vol. 54, p. 067001, 7pp, 2015.

Kazuya Fujimoto, Moeto Nagai, Hirofumi Shintaku, Hidetoshi Kotera, Ryuji Yokokawa, “Dynamic formation of a microchannel array enables kinesin-driven microtubule transport between separate compartments on a chip”, Lab on a Chip Vol. 15, pp. 2055-2063, 2015.

Moeto Nagai, Kiyotaka Oohara, Keita Kato, Takahiro Kawashima, and Takayuki Shibata, “Development and Characterization of Hollow Microprobe Array as a Potential Tool for Versatile and Massively Parallel Manipulation of Single Cells”, Biomedical Microdevices Vol. 17, Issue 2, 11 pp. 2015.

招待講演

永井萌土,『超並列シングルセル解析のためのMEMSプラットフォームの構築』,日本医療機器学会,第90回日本医療機器学会大会,パシフィコ横浜，神奈川県横浜市

国際会議

Kota Yamamoto, Shingo Fujii, Junji Sasano, Moeto Nagai, Takayuki Shibata, “Localized Catalytic Chemical Etching of Silicon in Water by Platinum-coated Atomic Force Microscope Tip”, 41st international conference on micro- and nanofabrication and manufacturing, World Forum, Hague, Netherlands, CDROM (2pp), 2015.

Takayuki Shibata, Goh Miyazaki, Terutake Hayashi, Moeto Nagai, “Hollow-Nanoneedle-Based AFM Probe for Electrokinetic Intracellular Delivery and Intracellular TERS Imaging”, 41st international conference on micro- and nanofabrication and manufacturing, World Forum, Hague, Netherlands, CDROM (2pp), 2015.

Ryosaku Sakamoto, Yuya Matsuse, Moeto Nagai, Takayuki Shibata, “Development and Characterization of Dielectrophoretic Probe Array for Non-invasive Massively Parallel Manipulation of Single Cells”, 26th 2016 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS 2015), Nagoy University, Nagoya, Japan, 118-119, 2015.

Hiromi Furukawa, Naohiro Iio, Moeto Nagai, and Takayuki Shibata, “Fundamental Study on Nanofabrication Technique Based on Localized TiO2 Photocatalytic Reaction”, The Irago Conference 2015, Irago Sea-Park & Spa Hotel, Tahara, Aichi, Japan, P35 (1pp), 2015.

Goh Miyazaki, Terutake Hayashi, Moeto Nagai, and Takayuki Shibata, “Fundamental Study on Intracellular Imaging Based on Tip-enhanced Raman Spectroscopy”, The Irago Conference 2015, Irago Sea-Park & Spa Hotel, Tahara, Aichi, Japan, P45 (1pp), 2015.

Ryosaku Sakamoto, Yuya Matsuse, Moeto Nagai, Takayuki Shibata, “Development and Characterization of Dielectrophoretic Probe Array for Non-invasive Massively Parallel Manipulation of Single Cells”, IEEE MHS 2015 (International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science), Nagoya University, Noyori Confernece Hall, Nagoya, Aichi, Japan, pp. 118-119, 2015.

国内学会

谷﨑耕平，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「ツリガネムシと人工構造体を融合したバイオマイクロシステムの開発」， ライフサポート学会フロンティア講演会，東京電機大学　東京千住キャンパス，p. 105，2015.

佐藤圭輔，山本紘太，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「白金触媒 AFM プローブを用いたナノ化学加工技術の開発」， 精密工学会２０１５年度春季大会学術講演会，東洋大学 白山キャンパス 東京都，851-852，2015.

谷﨑耕平，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「ツリガネムシと可動機械の融合による環境応答型駆動機構の開発」， 精密工学会２０１５年度春季大会学術講演会，東洋大学 白山キャンパス 東京都，785-786，2015.

伴野元紀，永井萌土，川島貴弘，沼野利佳，柴田隆行， 「細胞機能解析のためのナノニードル搭載型バイオプローブの開発（第 11 報）-段付き中空ニードル探針の一体形成プロセスの検討-」， 精密工学会２０１５年度春季大会学術講演会，東洋大学 白山キャンパス 東京都，783-784，2015.

曽我智史，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「センサ多機能化のための MEMS ディスペンサアレイを用いた分子認識素子配置の研究」， 精密工学会２０１５年度春季大会学術講演会，東洋大学 白山キャンパス 東京都，747-748，2015.

松瀬優也，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「低侵襲・超並列細胞操作のための誘電泳動プローブアレイの開発と評価」， 精密工学会２０１５年度春季大会学術講演会，東洋大学 白山キャンパス 東京都，741-742，2015.

田中遼丞，渡邊大紀，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「オンチップ細胞機能制御のための超高速細胞処理システムの開発（第 2 報）-誘電泳動力を利用した細胞セレクタの作製-」， 精密工学会２０１５年度春季大会学術講演会，東洋大学 白山キャンパス 東京都，739-740，2015.

小林功治，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「オンチップ細胞機能制御のための圧電駆動型マイクロ細胞培養デバイスの開発（第 4 報）-機械的ナノ振動刺激による細胞応答の基礎的検討-」， 精密工学会２０１５年度春季大会学術講演会，東洋大学 白山キャンパス 東京都，pp. 727-728，2015.

永井萌土，坂本良作，川島貴弘，柴田隆行， 「ニードルアレイと微小電極を融合した細胞内デリバリーシステムの基礎的検討」， ロボティクス・メカトロニクス講演会2015，京都市勧業館「みやこめっせ」京都市，2A2-B08, 3pp，2015.

永井萌土，服部悠太，川島貴弘，柴田隆行， 「微生物融合型マイクロシステムのための磁気駆動機構の開発」， ロボティクス・メカトロニクス講演会2015，京都市勧業館「みやこめっせ」京都市，1A1-A09, 3pp，2015.

永井萌土，宮本篤真，柴田隆行， 「超並列細胞内デリバリーのための中空ナノニードルアレイの開発」， 電気学会　バイオ・マイクロシステム研究会，中央大学後楽園キャンパス，東京都,37–42，2015.

坂本良作,松瀬優也,永井萌土,柴田隆行， 「誘電泳動を用いた単一細胞操作のための誘電体被覆電極の作製と評価」， 平成27年度　電気学会E部門総合研究会，九州大学医学部百年講堂，福岡市，pp. 5-9，2015.

服部悠太,谷崎耕平,永井萌土,柴田隆行， 「環境応答型マイクロシステムのための可動機械と微生物の融合技術の開発」， 平成27年度　電気学会E部門総合研究会，九州大学医学部百年講堂，福岡市，pp. 47-50，2015.

飯尾尚浩，永井萌土，柴田隆行， 「TiO2 光触媒反応を利用したナノ化学加工の基礎研究」， 日本機械学会 2015年度年次大会，北海道大学工学部，J1130204, 5pp, 2015.

山本紘太，永井萌土，柴田隆行， 「白金触媒反応の局所空間制御によるナノ化学加工技術の提案」， 日本機械学会 2015年度年次大会，北海道大学工学部，J1130205, 5pp, 2015.

河原田翔，永井萌土，柴田隆行， 「3次元細胞組織アセンブリのための可変開口を利用した単一細胞の捕獲・脱離技術の開発」， ２０１５年度精密工学会秋季大会，東北大学川内北キャンパス，781-782, 2015.

峰村俊輝，曽我智史，永井萌土，柴田隆行， 「マルチバイオマーカー診断のための局所磁場制御による機能性粒子配置技術の開発」， ２０１５年度精密工学会秋季大会，東北大学川内北キャンパス，785-786, 2015.

山本圭太，永井萌土，沼野利佳，柴田隆行， 「電場駆動力を利用した生体分子の細胞内デリバリー技術の開発（第5報）-非接着性細胞へのDNA デリバリーの基礎的検討-」， ２０１５年度精密工学会秋季大会，東北大学川内北キャンパス，789-790, 2015.

宮崎　剛， 伊藤康治， 林　照剛， 永井萌土， 柴田隆行， 「細胞機能解析のためのナノニードル搭載型バイオプローブの開発（ 第 12 報 ）-細胞内 TERSイメージングの基礎的検討-」， ２０１５年度精密工学会秋季大会，東北大学川内北キャンパス，803-804, 2015.

吉田尚人，菊地謙次，鹿毛あずさ，沼山恵子，永井萌土，石川拓司， 「せん断流れ中のツリガネムシの振る舞い」， 第26回バイオフロンティア講演会,九州大学伊都キャンパス椎木講堂， 2015.

中水 泰輝，服部 悠太，永井 萌土，柴田 隆行， 「ツリガネムシを用いた可動機械の環境応答駆動の実現」， 第7回マイクロ・ナノ工学シンポジウム,朱鷺メッセ（新潟コンベンションセンター），29pm2-E-3, 2pp. 2015.

舟橋 圭佑，坂本 良作，永井 萌土，柴田 隆行， 「超並列細胞アセンブリのための誘電泳動を用いたオープントップセルフィーダの開発」， 第7回マイクロ・ナノ工学シンポジウム,朱鷺メッセ（新潟コンベンションセンター），28pm3-E-7, 2pp. 2015.

藤井 信吾，山本 紘太，永井 萌土，柴田 隆行， 「Pt 触媒反応を利用した水中での Si のナノ化学加工」， 第7回マイクロ・ナノ工学シンポジウム,朱鷺メッセ（新潟コンベンションセンター），29pm1-B-3, 2pp. 2015.

平塚 翔太，河原田 翔，永井 萌土，柴田 隆行， 「光硬化性ゲルを用いた低侵襲3次元細胞組織アセンブリ技術の開発」， 第16回計測自動制御学会システムインテグレーション部門講演会（SI2015),名古屋国際会議場，名古屋市，pp. 694-696. 2015.

平塚 翔太，河原田 翔，永井 萌土，柴田 隆行， 「光硬化性ゲルを用いた低侵襲3次元細胞組織アセンブリ技術の開発」， 第16回計測自動制御学会システムインテグレーション部門講演会（SI2015),名古屋国際会議場，名古屋市，pp. 694-696. 2015.

修士論文（2015年度）

飯尾　尚浩,『マイクロ穴加工における振動援用効果の検討』

伊藤　康治,『電場駆動力を利用した低侵襲細胞内デリバリー技術の開発』

小林　功治,『PDMS静電マイクロアクチュエータアレイの開発』

曽我　智史,『双方向制御型電気浸透流ポンプを用いた超並列細胞操作技術の開発』

平野　貴裕,『走光性藻類ボルボックスを駆動源とする光制御型マイクロシステムの開発』

受賞

伊藤康治（学部生），精密工学会東海支部「学生優秀賞」，2014.

永井萌土，日本機械学会東海支部賞「奨励賞」， 『微生物を融合したマイクロシステムの開発』，2014.

加藤啓太（大学院生），ライフサポート学会「奨励賞」， 『ハイスループット細胞機能解明のための超並列細胞操作用マイクロプローブアレイの開発』，2014.

原著論文

永井萌土, 谷﨑耕平, 川島貴弘, 柴田隆行， 「ツリガネムシの収縮性ファイバを利用したCa2+駆動型マイクロバルブの開発」， 電気学会論文誌 E (センサ・マイクロマシン部門誌)，134 (5), pp. 101-107, 2014.

M. Nagai, T. Miyamoto, T. Kawashima, T. Shibata, “Fabrication and characterization of hollow needle array for electrokinetic intracellular delivery of biomolecules”, AIP Conference Proceedings 1585, pp. 117-122, 2014.

T. Shibata, G. Umegaki, Y. Ishihara, M. Nagai, T. Kawashima, “Fabrication and characterization of cell culture microdevice for nanomechanical stimulation of living cells”, AIP Conference Proceedings 1585, pp. 108-116, 2014.

T. Shibata, Y. Ito, T. Ozawa, M. Nagai, T. Kawashima, “Intracellular delivery method based on a combination of electrokinetic forces and vibration-assisted cell membrane perforation”, AIP Conference Proceedings 1585, pp. 45-52, 2014.

国際会議

T. Shibata, Y. Ito, M. Banno, M. Nagai, T. Kawashima, “Design and Development of Hollow-Nanoneedle-Based AFM Probefor Functional Analysis of Living Cells”, Proceedings of The 9th International Conference on MicroManufacturing (ICOMM 2014) , Singapore, No. 120, 2014.

T. Kawashima, K. Muto, T. Yamakami, M. Nagai, T. Shibata, “Fabrication and Characterization of Piezoresistive Cantilever Arrayfor Digital Sensing of Acoustic Emission”, Proceedings of The 9th International Conference on MicroManufacturing (ICOMM 2014) , Singapore, No. 122, 2014.

国内学会

加藤　慶，永井萌土，谷﨑耕平，川島貴弘，柴田隆行， 「光流体リソグラフィ法を用いたツリガネムシ駆動型マイクロ構造体のその場創成技術」， 日本機械学会東海支部第63期総会・講演会，名古屋，2pp，2014.

古原龍河，永井萌土，谷﨑耕平，川島貴弘，柴田隆行， 「電気化学的プロセスを用いたツリガネムシの透膜処理・運動制御技術の開発」， 日本機械学会東海支部第63期総会・講演会，名古屋，2pp，2014.

曽我智史，永井萌土，加藤啓太，川島貴弘，柴田隆行， 「双方向制御型電気浸透流ポンプを用いた超並列細胞操作技術の開発」， 日本機械学会東海支部第63期総会・講演会，名古屋，2pp，2014.

平野貴裕，永井萌土，小栗有寛，川島貴弘，柴田隆行， 「走光性藻類ボルボックスを駆動源とする光制御型マイクロシステムの開発」， 日本機械学会東海支部第63期総会・講演会，名古屋，2pp，2014.

川島貴弘，武藤一夫，山上貴広，永井萌土，柴田隆行， 「デジタル式アコースティックエミッションセンサの開発」， 2014年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp. 485-486，2014.

谷﨑耕平，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「流体分離構造をもつツリガネムシ融合マイクロ流体システムの開発」， 2014年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp. 485-486，2014.

小栗有寛，永井萌土，平野貴裕，川島貴弘，柴田隆行， 「走光性藻類ボルボックスを利用した微生物融合マイクロ流体システムの開発」， 2014年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp. 483-484，2014.

田中一匡，川島貴弘，永井萌土，柴田隆行， 「細胞形態イメージングのためのナノニードルアレイ搭載型多点同時計測イオンコンダクタンス顕微鏡の開発」， 2014年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp. 479-480，2014.

加藤啓太，永井萌土，曽我智史，松瀬優也，川島貴弘，柴田隆行， 「双方向制御型電気浸透流を利用した超並列細胞操作用マイクロプローブアレイの開発」， 2014年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp. 477-478，2014.

伊藤康治，小澤辰也，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「電場駆動力を利用した生体分子の細胞内デリバリー技術の開発」， 2014年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp. 473-474，2014.

梅垣彦希，石原祥貴，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「オンチップ細胞機能制御のための圧電駆動型マイクロ細胞培養デバイスの開発」， 2014年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp. 461-462，2014.

小澤辰也，伴野元紀，伊藤康治，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「細胞機能解析のためのナノニードル搭載型バイオプローブの開発」， 2014年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp. 451-452，2014.

松瀬優也，永井萌土，加藤啓太，川島貴弘，柴田隆行， 「超並列細胞アセンブリのための電場駆動力を利用した透明セルフィーダの開発」， 2014年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp. 443-444，2014.

加藤啓太，永井萌土，曽我智史，川島貴弘，柴田隆行， 「双方向制御型電気浸透流を利用した超並列細胞操作用マイクロプローブアレイの開発」， 第23回ライフサポート学会フロンティア講演会，東京，1A2-2, 2014.

修士論文（2014年度）

大竹 英明,『微小差圧検出のためのマイクロ圧力センサの開発』

伴野 元紀,『細胞機能解析のための段付き中空ナノニードル搭載型バイオプローブの開発』

佐藤 圭輔 ,『白金触媒AFM プローブを用いたナノ化学加工技術の基礎研究』

田中 遼丞,『オンチップ細胞機能制御のための超高速細胞処理システムの基礎研究』

谷﨑 耕平,『ツリガネムシと人工構造体を融合したバイオマイクロシステムの開発』

宮本 篤真,『超並列細胞内デリバリーのためのナノニードルアレイの開発』

松瀬 優也,『電場駆動力を利用した超並列細胞操作マニピュレータアレイの開発』

受賞

谷﨑耕平（大学院生），永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 平成25年度 電気学会センサ・マイクロマシン部門 総合研究会「優秀論文発表賞」， 『ツリガネムシの収縮性ファイバ駆動によるマイクロボールバルブの開発』，2013.

梅垣彦希（大学院生），2013年度精密工学会秋季大会学術講演会「ベストポスタープレゼンテーション賞」， 『オンチップ細胞機能制御のための圧電駆動型マイクロ細胞培養デバイスの開発（第2報） ―誘電泳動による細胞操作の基礎的検討―』，2013.

伊藤康治（学部生），2013年度精密工学会秋季大会学術講演会「ベストポスタープレゼンテーション賞」， 『電場駆動力を利用した生体分子の細胞内デリバリー技術の開発（第2報） ―振動援用による低侵襲細胞膜穿孔の基礎的検討―』，2013.

柴田隆行，川島貴弘，永井萌土，豊橋技術科学大学「研究活動表彰」，2013.

中村健志（大学院生），ライフサポート学会「奨励賞」， 『細胞機能イメージングのための多機能走査型バイオプローブ顕微鏡の開発』，2013.

著書・総説・解説

柴田隆行，永井萌土，川島貴弘， 「マスクレス微細パターン形成技術」，精密加工と微細構造の形成技術，技術情報協会，東京， pp.216-225, 2013.

原著論文

Y. Hayasaka, M. Nagai, N. Matsumoto, T. Kawashima, T. Shibata, “Flow Field Analysis of Micromixer Powered by Ciliary Motion of Vorticella”, Electron. Comm. Jpn., 96 (10), pp. 43-49, 2013.

M. Nagai, Y. Hayasaka, K. Kato, T. Kawashima, T. Shibata, “Mixing of solutions by coordinated ciliary motion in Vorticella convallaria and patterning method for microfluidic applications”, Sensors and Actuators B: Chemical, 188, pp. 1255-1262, 2013.

T. Shibata, K. Nakamura, S. Horiike, M. Nagai, T. Kawashima, T. Mineta, E. Makino, “Fabrication and Characterization of Bioprobe Integrated with a Hollow Nanoneedle for Novel AFM Applications in Cellular Function Analysis”, Microelectronic Eng., 111, pp. 325-331, 2013.

M. Nagai, N. Matsumoto, T. Kawashima, T. Shibata, “Reversible Motion Control of Vorticella Stalk in Microchannel”, Microelectronic Eng., 108, pp. 28-32, 2013.

桝田正美，木本誠二，堀内　宰，柴田隆行，村上良彦， 「微小穴あけにおけるドリル振れの穴位置精度への影響」， 精密工学会誌，79 (5), pp. 449-454, 2013.

M. Nagai, T. Torimoto, T. Miyamoto, T. Kawashima, T. Shibata, “Electrokinetic delivery of biomolecules into living cells for analysis of cellular regulation,” Jpn. J. Appl. Phys., 52(4), 047002 (5pp), 2013.

永井萌土，早坂　陽，川島貴弘，柴田隆行， 「ツリガネムシの繊毛を用いた能動型マイクロミキサ」, 電気学会論文誌E，133(4)，pp. 118-123，2013.

桝田正美，高橋　渉，堀内　宰，柴田隆行，村上良彦， 「微小径エンドミルを用いて加工された溝の送り直角断面形状」， 精密工学会誌，79 (4), pp. 361-367, 2013.

桝田正美，艾　靖宇，堀内　宰，柴田隆行，村上良彦， 「微小径エンドミル加工における溝加工精度に関する研究（第2報）－側壁加工における側壁位置誤差－」， 精密工学会誌，79 (3), pp. 253-259, 2013.

桝田正美，艾　靖宇，堀内　宰，柴田隆行，野村光由，村上良彦， 「微小径エンドミル加工における溝加工精度に関する研究（第1報）－工具径に等しい溝幅加工における溝位置誤差と溝曲がり－」， 精密工学会誌，79 (2), pp. 176-181, 2013.

M. Nagai, K. Tanizaki, Y. Hayasaka, T. Kawashima, T. Shibata, “A Microfluidic Flow-switching Device Powered by Vorticella Stalk”, Journal of Physics: Conference Series 433, 012014 (6pp), 2013.

招待講演

柴田隆行，『細胞機能解析用MEMSプラットフォームの開発』， 2013年度精密工学会秋季大会シンポジウム「マイクロニードル－作製法とアプリケーション－」，吹田，2013.

国際会議

M. Nagai, K. Kato, T. Kawashima, T. Shibata, “Fabrication of Movable Microstructure Integrated with Vorticella Actuator”, Extended abstract of 24th 2013 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS 2013), Nagoya, Japan, pp. 326-329, 2013.

G. Umegaki, Y. Ishihara, M. Nagai, T. Kawashima, T. Shibata, “Development of Cell Culture Microdevice for Regulation of Cell Functions Based on Nanomechanical Stimulation”, Extended abstract of 24th 2013 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS 2013), Nagoya, Japan, pp. 211-214, 2013.

T. Ozawa, Y. Ito, M. Nagai, T. Kawashima, T. Shibata, “Electrokinetic Intracellular Delivery Combined with Vibration-Assisted Cell Membrane Perforation”, Extended abstract of 24th 2013 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS 2013), Nagoya, Japan, pp. 207-210, 2013.

M. Banno, Y. Ito, M. Nagai, T. Kawashima, T. Shibata, “Mechanical Characterization of Biological Cells Using Bioprobe Integrated with Hollow Nanoneedle”, Abstract of The Irago (Interdisciplinary Research and Global Outlook) Conference 2013, Aichi, Japan, p. 32, 2013.

G. Umegaki, Y. Ishihara, M. Nagai, T. Kawashima, T. Shibata, “Fabrication and Characterization of Cell Culture Microdevice for Nanomechanical Stimulation of Living Cells”, Abstract of The Irago (Interdisciplinary Research and Global Outlook) Conference 2013, Aichi, Japan, p. 33, 2013.

M. Nagai, Y. Matsuse, T. Kawashima, T. Shibata, “Electrokinetic manipulation of cells using DC-biased AC electric fields”, Abstract of The Irago (Interdisciplinary Research and Global Outlook) Conference 2013, Aichi, Japan, p. 34, 2013.

M. Nagai, T. Miyamoto, T. Kawashima, T. Shibata, “Fabrication and Characterization of Hollow Needle Array for Electrokinetic Intracellular Delivery of Biomolecules”, Abstract of The Irago (Interdisciplinary Research and Global Outlook) Conference 2013, Aichi, Japan, p. 35, 2013.

Y. Ito, T. Ozawa, M. Nagai, T. Kawashima, T. Shibata, “Intracellular Delivery Method Based on a Combination of Electrokinetic Forces and Vibration-Assisted Cell Membrane Perforation”, Abstract of The Irago (Interdisciplinary Research and Global Outlook) Conference 2013, Aichi, Japan, p. 36, 2013.

M. Nagai, Y. Matsuse, K. Kato, T. Kawashima, T. Shibata, “Fabrication of Openly Accessible Cell Station in Transparent Materials for High-throughput Cell Analysis”, Extended Abstract of The 39th International Conference on Micro and Nano Engineering 2013 (MNE 2013), London, UK, p. 112, 2013.

T. Kawashima, K. Muto, K. Takahashi, M. Nagai, T. Shibata, “Fabrication of piezoresistive cantilever array for sensing of acoustic emission in frequency domain”, Extended Abstract of The 39th International Conference on Micro and Nano Engineering 2013 (MNE 2013), London, UK, p. 184, 2013.

T. Shibata, M. Banno, Y. Ito, M. Nagai, T. Kawashima, T. Mineta, E. Makino, “Novel Approach for Intracellular Delivery of BiomoleculesUsing Bioprobe Integrated with Hollow Nanoneedle”, Extended Abstract of The 39th International Conference on Micro and Nano Engineering 2013 (MNE 2013), London, UK, p. 421, 2013.

M. Nagai, K. Tanizaki, Y. Hayasaka, T. Kawashima, T. Shibata, “Microfluidic Cellular Valve Powered by Linear Bioactuator”, Proceedings of The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2013), Barcelona, Spain, pp. 1699-1702, 2013.

M. Nagai, Y. Hayasaka, T. Kawashima, T. Shibata, “Particle Transporter Using Cilia of Vorticella”, Proceedings of The 26th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2013), Taipei, Taiwan, pp. 67-70, 2013.

国内学会

谷﨑耕平，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「ツリガネムシの収縮性ファイバを利用したCa2+駆動型マイクロバルブの開発」， 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム，仙台，6PM3-PSS-104 (6pp)，2013.

小栗有寛，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「Volvoxの走光性を利用した光制御型バルブの開発」， 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム，仙台，5PM3-PSS-105 (4pp)，2013.

伴野元紀，伊藤康治，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「細胞機能イメージングのための多機能走査型バイオプローブ顕微鏡の開発　―振動援用細胞膜穿孔と電場駆動力を利用した低侵襲細胞内デリバリー―」， 第5回マイクロ・ナノ工学シンポジウム，仙台，pp. 273-274, 2013.

永井萌土，加藤　慶，川島貴弘，柴田隆行， 「ツリガネムシを駆動源とする可動マイクロ構造体の光流体リソグラフィ」， 第5回マイクロ・ナノ工学シンポジウム，仙台，pp. 231-232, 2013.

加藤啓太，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「超並列デジタル細胞操作ステーションの開発 －電場駆動力を利用した単一細胞の同時並列操作－」， 第5回マイクロ・ナノ工学シンポジウム，仙台，pp. 129-130, 2013.

永井萌土，平野貴裕，小栗有寛，川島貴弘，柴田隆行， 「Volvoxの走光性制御とマイクロデバイス応用」， 電気学会 バイオ・マイクロシステム研究会，東京，pp. 49-54，2013.

松瀬優也，永井萌土，加藤啓太，川島貴弘，柴田隆行， 「超並列デジタル細胞操作ステーションの開発」， 2013年度精密工学会秋季大会学術講演会，大阪，pp. 889-890，2013.

伊藤康治，小澤辰也，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「電場駆動力を利用した生体分子の細胞内デリバリー技術の開発」， 2013年度精密工学会秋季大会学術講演会，大阪，pp. 891-892，2013.

梅垣彦希，石原祥貴，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行，増澤　徹，木村　剛，岸田晶夫， 「オンチップ細胞機能制御のための圧電駆動型マイクロ細胞培養デバイスの開発」， 2013年度精密工学会秋季大会学術講演会，大阪，pp. 893-894，2013.

加藤啓太，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「複数の単一細胞解析を目指した超並列デジタル細胞操作ステーションの開発」， 日本機械学会 2013年度年次大会，岡山，J026034 (5pp)，2013.

小澤辰也，宮本篤真，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「細胞機能解析のための電場駆動力を利用した細胞内デリバリー技術の開発」， 日本機械学会 2013年度年次大会，岡山，J026035 (5pp)，2013.

永井萌土，松瀬優也，加藤啓太，曽我智史，川島貴弘，柴田隆行， 「超並列デジタル細胞操作ステーションの開発 －電場駆動力を用いた細胞操作法の基礎的検討－」， 平成25年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会，東京，pp. 11-15，2013.

宮本篤真，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「電場駆動力を利用した細胞内デリバリー技術の開発 －中空ニードルアレイを用いた超並列操作の基礎的検討－」， 平成25年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会，東京，pp. 17-21，2013.

谷﨑耕平，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「ツリガネムシの収縮性ファイバ駆動によるマイクロボールバルブの開発」， 平成25年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会，東京，pp. 23-28，2013.

永井萌土，谷﨑耕平，川島貴弘，柴田隆行， 「ツリガネムシの収縮・伸張運動を利用した流体スイッチング素子の開発」， ロボティクス・メカトロニクス講演会2013，つくば，1P1-O01(4pp)，2013.

小栗有寛，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「Volvox の走光性を利用した光駆動型ボールバルブの開発」， ロボティクス・メカトロニクス講演会2013，つくば，1P1-O03(3pp)，2013.

永井萌土，鳥本達郎，宮本篤真，川島貴弘，柴田隆行， 「細胞機能制御のための電場駆動力を用いた細胞内デリバリー」， ロボティクス・メカトロニクス講演会2013，つくば，1A1-D08 (3pp)，2013.

加藤啓太，永井萌土，大原清孝，川島貴弘，柴田隆行， 「中空マイクロプローブアレイを用いた超並列デジタル細胞操作ステーションの開発」， ロボティクス・メカトロニクス講演会2013，つくば，1A1-D09 (4pp)，2013.

大原清孝，永井萌土，加藤啓太，川島貴弘，柴田隆行， 「中空マイクロプローブアレイを用いた細胞操作性能の評価」， 電気学会バイオ・マイクロシステム研究会，東京，pp. 29-33，2013.

永井萌土，早坂　陽，川島貴弘，柴田隆行， 「連続流の効率的混合のためのツリガネムシのパターニング」， 電気学会バイオ・マイクロシステム研究会，東京，pp. 45-48，2013.

郡司資孝，田中遼丞，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「マイクロスタンプを用いたマスクレス微細めっきパターン形成技術の開発」， 2013年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp. 309-310，2013.

松井　淳，高橋賢也，川島貴弘，武藤一夫，永井萌土，柴田隆行， 「デジタル式アコースティックエミッションセンサの開発」， 2013年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp. 347-348，2013.

中村健志，伴野元紀，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行，峯田　貴，牧野英司， 「細胞機能解析のためのナノニードル搭載型バイオプローブの開発」， 2013年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp. 357-358，2013.

三苫祐輝，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行，久保田俊夫，御田　護，西川忠寛， 「マイクロニードルアレイを用いた高品位・高能率マイクロ穴加工技術の開発」， 2013年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp. 371-372，2013.

中村健志，伴野元紀，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行，峯田　貴，牧野英司， 「細胞機能イメージングのための多機能走査型バイオプローブ顕微鏡の開発」， 第22回ライフサポート学会フロンティア講演会，東京，p.38, 2013.

修士論文（2013年度）

梅垣　彦希，『オンチップ細胞機能制御のための圧電駆動型マイクロ細胞培養デバイスの開発』

小栗　有寛，『走光性藻類ボルボックスを利用した微生物融合マイクロ流体システムの開発』

小澤　辰也，『電場駆動力を利用した生体分子の低侵襲細胞内デリバリー技術の開発』

加藤　啓太，『双方向制御型電気浸透流を利用した超並列細胞操作用マイクロプローブアレイの開発』

田中　一匡，『細胞形態イメージングのための静電アクチュエータ搭載型多点同時イオンコンダクタンス検出デバイスの開発』

三苫　祐輝，『中空ニードルアレイ工具を用いた振動援用マイクロ穴加工技術の開発』

受賞

柴田隆行，（独）日本学術振興会「平成24年度 科研費審査委員表彰」，2012.

山田侑平（大学院生），ライフサポート学会「奨励賞」， 『オンチップ細胞機能制御のための圧電駆動型マイクロ細胞培養デバイスの開発』，2012.

原著論文

T. Shibata, K. Maruno, M. Nagai, T. Kawashima, T. Mineta, and E. Makino, “Fabrication and Characterization of AFM Probe Integrated with High-Aspect-Ratio Diamond Tip”, Key Engineering Materials, 523-524, pp. 569-574, 2012.

T. Kawashima, A. Matsui, K. Muto, M. Nagai, and T. Shibata, “Fabrication of Acoustic Emission Sensor Integrated with Cantilever Array for Detection of Signals Divided into Frequency Domain”, Key Engineering Materials, 523-524, pp. 575-580, 2012.

T. Kawashima, T. Matsugase, K. Tanaka, M. Nagai, T. Shibata, T. Mineta, and E. Makino, “Fabrication of hollow SiO2 nanoneedle array and characterization of simultaneous multi-site ion-conductance recordings for cell morphology imaging”, Microelectronic Eng., 98, pp. 663-667, 2012.

T. Kawashima, Y. Yamada, Y. Matsuzawa, M. Nagai, T. Shibata, T. Masuzawa, T. Kimura, and A. Kishida, “Development of Cell Culture Microdevice Integrated with Piezoelectric Thin Film Actuator for On-Chip Regulation of Cell Functions”, Jpn. J. Appl. Phys., 51(10), 107201 (8pp), 2012.

M. Nomura, B. Ma, O. Horiuchi, T. Shibata, Y. Murakami, M. Masuda, “Study on Machining Accuracy in Micro-endmilling”, Key Eng. Mater. , 516, pp. 349-354, 2012.

早坂　陽，永井萌土，松本伸賢，川島貴弘，柴田隆行， 「ツリガネムシの繊毛運動を用いたマイクロミキサの流れ場解析」， 電気学会論文誌E，132 (3), pp.58-63, 2012.

Y. Yamada, G. Umegaki, T. Kawashima, M. Nagai, T. Shibata, T. Masuzawa, T. Kimura, A. Kishida, “Development of Cell Culture Microdevice Actuated by Piezoelectric Thin Films for Delivering Mechanical Vibratory Stimuli to Cells”, Journal of Physics: Conference Series 352, 012027 (7pp), 2012.

N. Matsumoto, M. Nagai, Y. Hayasaka, M. Oguri, T. Kawashima, T. Shibata, “Flow Regulator Powered by the Stalk of Vorticella convarallia”, Journal of Physics: Conference Series 352, 012030 (7pp), 2012.

O. Horiuchi, M. Nomura, B. Ma, T. Shibata, Y. Murakami, M. Masuda, “Influence of Thermal Behavior of Spindle on Machining Accuracy in Micro-endmilling”, Adv. Mater. Res., pp. 2040-2045, 2012.

招待講演

柴田隆行，『マスクレス微細加工技術と細胞機能解析用MEMSプラットフォーム』， 理化学研究所「第31回マイクロファブリケーションシンポジウム」，和光，2012.

柴田隆行，『MEMS技術を究めナノとバイオへの架け橋を築く ～異分野融合ものづくり技術への挑戦～』， 日本機械学会北海道支部「特別講演会」，札幌，2012.

国際会議

M. Nagai, K. Tanizaki, Y. Hayasaka, T. Kawashima, T. Shibata, “A Microfluidic Flow-switching Device Powered by Vorticella Stalk”, Abstract of The Asia-Pacific Interdisciplinary Research Conference 2012 (AP-IRC 2012), Aichi, Japan, p. 74, 2012.

M. Oguri, M. Nagai, T. Kawashima, T. Shibata, “Motion Control of Bioactuators Using a Gradient Generator”, Abstract of The Asia-Pacific Interdisciplinary Research Conference 2012 (AP-IRC 2012), Aichi, Japan, p. 76, 2012.

T. Ozawa, K. Nakamura, M. Nagai, T. Kawashima, T. Shibata, “Development of Bioprobe for Novel AFM Applications in Cellular Functions of Single Living Cells”, Abstract of The Asia-Pacific Interdisciplinary Research Conference 2012 (AP-IRC 2012), Aichi, Japan, p. 79, 2012.

T. Shibata, K. Maruno, M. Nagai, T. Kawashima, T. Mineta, E. Makino, “Fabrication and Characterization of AFM Probe Integrated with High-Aspect-Ratio Diamond Tip”, The 14th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2012), Hyogo, Japan, 2012. (Key Eng. Mater., Vols.523-524, pp.569-574, 2012)

T. Kawashima, A. Matsui, M. Nagai, T. Shibata, K. Muto, “Fabrication of Acoustic Emission Sensor Integrated with Cantilever Array for Detection of Signals Divided into Frequency Domain”, The 14th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2012), Hyogo, Japan, 2012. (Key Eng. Mater., Vols.523-524, pp.575-580, 2012)

M. Nagai, K. Kato, K. Oohara, T. Torimoto, T. Kawashima, T. Shibata, “Electrical Detection of Single-Cell Trapping for Manipulation in an Array-based Format”, Extended abstract of 23rd 2012 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS 2012), Nagoya, Japan, pp. 50-53, 2012.

M. Nagai, Y. Hayasaka, T. Kawashima, T. Shibata, “Active Micromixer Based on Cilia of Microoraganisms”, Extended abstract of 23rd 2012 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS 2012), Nagoya, Japan, pp. 78-82, 2012.

M. Nagai, T. Torimoto, T. Miyamoto, T. Kawashima, T. Shibata, “Characteristics of Electrokinetic Flow through Nano Pipette for Cellular Delivery”, Extended abstract of 23rd 2012 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS 2012), Nagoya, Japan, pp. 194-196, 2012.

T. Shibata, K. Nakamura, S. Horiike, M. Nagai, T. Kawashima, T. Mineta, E. Makino, “Fabrication and Characterization of Bioprobe Integrated with Hollow Nanoneedle for Novel AFM Applications in Cellular Function Analysis”, Extended Abstract of The 38th International Conference on Micro and Nano Engineering 2012 (MNE 2012), Toulouse, France, 2pp, 2012.

T. Kawashima, A. Matsui, M. Nagai, T. Shibata, K. Muto, “Fabrication of digital acoustic emission sensor integrated with cantilever array and piezoresistive elements”, Extended Abstract of The 38th International Conference on Micro and Nano Engineering 2012 (MNE 2012), Toulouse, France, 2pp, 2012.

T. Shibata, K. Kondo, Y. Mitoma, M. Nagai, T. Kawashima, T. Kubota, M. Mita, “A Novel Maskless Patterning Technique Based on Electroless Plating Using Microstamp”, Abstract of the 6th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2012), Nangjin, China, ac12000093 (2pp), 2012.

M. Nagai, T. Torimoto, T. Kawashima, T. Shibata, “Electrokinetic Delivery of Biomolecules into Living Cells for Analysis of Cellular Regulation”, Abstract of the 6th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2012), Nangjin, China, ac12000096 (2pp), 2012.

T. Kawashima, Y. Yamada, G. Umegaki, T. Shibata, M. Nagai, T. Masuzawa, T. Kimura, A. Kishida, “Characterization of Cell Culture Microdevice Integrated with Piezoelectric Thin Film Actuator for On-Chip Regulation of Cell Functions”, Abstract of The 9th International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators (IWPMA 2012), Hirosaki, Japan, p.129, 2012.

T. Shibata, K. Nakamura, S. Horiike, M. Nagai, T. Kawashima, “A Newly Designed AFM Probe for Imaging of Cellular Functions in Living Cells”, Abstract of International Symposium on Innovative Nanobiodevices (ISIN 2012), Nagoya, Japan, p.48, 2012.

M. Nagai, T. Torimoto, T. Kawashima, T. Shibata, “Characteristics of Intercellular Delivery of Molecules into Living Cells Based on Electrokinetic Flow”, Abstract of International Symposium on Innovative Nanobiodevices (ISIN 2012), Nagoya, Japan, p.50, 2012.

T. Kawashima, T. Matsugase, M. Nagai, T. Shibata, “Integration of Hollow Nanoneedles with Ion Conductance Microscope for Morphology Imaging of Living Cells”, Abstract of International Symposium on Innovative Nanobiodevices (ISIN 2012), Nagoya, Japan, p.74, 2012.

国内学会

西方孝志，岡崎禎子，古屋泰文，牧野英司，川島貴弘，柴田隆行，峯田　貴， 「高感度磁気センサのための磁歪膜積層型MEMSカンチレバーの形成」， 第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム，北九州，pp. 588-591, 2012.

早坂　陽，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「微生物の繊毛を用いたマイクロミキサの開発」， 第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム，北九州，pp. 693-696，2012.

永井萌土，加藤啓太，大原清孝，鳥本達郎，川島貴弘，柴田隆行， 「マイクロノズルを用いた単一細胞操作と検出」， 第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム，北九州，pp. 709-712，2012.

鳥本達郎，永井萌土，宮本篤真，川島貴弘，柴田隆行， 「ナノニードルと電場駆動流を用いた細胞内へのDNA導入」， 第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム，北九州，pp. 713-716，2012.

M. Nagai, M. Oguri, T. Kawashima, T. Shibata, “Phototactic Steering of Volvox for Microsystems Applications”, Abstract of IEEJ 29th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied Systems, Kitakyushu, Japan, p. 172, 2012.

中村健志，小澤辰也，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「細胞機能イメージングのための多機能走査型バイオプローブ顕微鏡の開発」， 第4回マイクロ・ナノ工学シンポジウム，北九州，pp. 47-48, 2012.

大原清孝，永井萌土，加藤啓太，川島貴弘，柴田隆行， 「細胞操作用マイクロノズルアレイの性能評価」， 第4回マイクロ・ナノ工学シンポジウム，北九州，pp. 49-50，2012.

中村健志，小澤辰也，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「細胞機能イメージングのためのナノニードル搭載型バイオプローブの開発」， 日本機械学会2012年度年次大会，金沢，CDROM (4pp)，2012.

川島貴弘，田中一匡，永井萌土，柴田隆行，峯田　貴，牧野英司， 「細胞形態イメージングのための多点同時計測イオンコンダクタンス顕微鏡の開発」， 日本機械学会2012年度年次大会，金沢，CDROM (4pp)，2012.

小栗有寛，永井萌土，松本伸賢，川島貴弘，柴田隆行， 「濃度勾配形成デバイスを用いたバイオアクチュエータの動作制御」， 平成24年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会，京都，pp.7-10，2012.

加藤啓太，永井萌土，大原清孝，鳥本達郎，川島貴弘，柴田隆行， 「細胞マニピュレーションのための単一細胞の電気的検出」， 平成24年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会，京都，pp.37-40，2012.

永井萌土，松本伸賢，小栗有寛，川島貴弘，柴田隆行， 「バイオアクチュエータ融合型フローレギュレータの開発」， 平成24年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会，京都，pp.43-46，2012.

早坂　陽，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「ツリガネムシの繊毛による層流の能動的混合」， 平成24年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会，京都，pp.47-50，2012.

早坂　陽，永井萌土，松本伸賢，川島貴弘，柴田隆行， 「ツリガネムシの繊毛運動を用いたマイクロミキサの作製」， ロボティクス・メカトロニクス講演会2012，浜松，CDROM (4pp), 2012.

小栗有寛，永井萌土，松本伸賢，川島貴弘，柴田隆行， 「マイクロ流路内の濃度勾配を利用したバイオアクチュエータ制御技術の開発」， ロボティクス・メカトロニクス講演会2012，浜松，CDROM (3pp), 2012.

加藤啓太，大原清孝，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「細胞操作用マイクロマニピュレータアレイの細胞捕獲・脱離過程の高効率化」， ロボティクス・メカトロニクス講演会2012，浜松，CDROM (4pp), 2012.

近藤賢太，三苫祐輝，川島貴弘，柴田隆行，久保田俊夫，御田　護， 「マイクロスタンプを用いたマスクレス微細めっきパターン形成技術の開発」， 2012年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp.37-38, 2012.

鳥本達郎，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「電場駆動流を利用した生体分子の細胞内デリバリー技術の開発」， 2012年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp.85-86, 2012.

大原清孝，加藤啓太，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「セルパターニングのための細胞操作用マイクロマニピュレータアレイの開発」， 2012年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp.87-88, 2012.

中村健志，小澤辰也，堀池修平，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行，峯田　貴，牧野英司， 「細胞機能解析のためのマイクロニードル搭載型バイオプローブの開発」， 2012年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp.89-90, 2012.

松ヶ瀬智哉，田中一匡，川島貴弘，永井萌土，柴田隆行，峯田　貴，牧野英司， 「細胞形態イメージングのためのナノニードルアレイ搭載型多点同時計測イオンコンダクタンス顕微鏡の開発」， 2012年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp.91-92, 2012.

松井　淳，川島貴弘，永井萌土，柴田隆行，武藤一夫， 「デジタル式アコースティックエミッションセンサの開発」， 2012年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp.95-96, 2012.

艾　靖宇，野村光由，柴田隆行，村上良彦，堀内　宰，桝田正美， 「微小径エンドミルによる高精度微細切削に関する研究」， 2012年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp.155-156, 2012.

山田侑平，梅垣彦希，川島貴弘，永井萌土，柴田隆行，増澤　徹，木村　剛，岸田晶夫， 「オンチップ細胞機能制御のための圧電駆動型マイクロ細胞培養デバイスの開発 ―機械的ナノ振動刺激の付与による細胞接着の評価―」， 第21回ライフサポート学会フロンティア講演会，東京，p.57, 2012.

修士論文（2012年度）

大原　清孝，『中空マイクロプローブアレイを用いた単一細胞配列システムの開発』

郡司　資孝，『マイクロスタンプを用いたマスクレス微細めっきパターン形成技術の開発』

鳥本　達郎，『電場駆動力を利用した生体分子の細胞内デリバリー技術の開発』

中村　健志，『細胞機能イメージングのための多機能走査型バイオプローブ顕微鏡の開発』

早坂　陽，『ツリガネムシの繊毛運動を利用した流体撹拌素子の開発』

松井　淳，『アコースティックエミッション検出のためのデジタル式集積化センサの開発』

受賞

川島貴弘， 平成22年度日本生体医工学会科学新聞賞・研究奨励賞・阪本研究刊行助成賞・阿部賞， “Development of Cell Culture Microdevice Integrated with Piezoelectric Thin Film Actuator for On-Chip Regulation of Cell Functions”，2011.

鳥本達郎（大学院生）， 第54回自動制御連合講演会「優秀発表賞」， 『電気浸透流を利用した生体分子の細胞内デリバリー技術の開発』，2011.

著書・総説・解説

柴田隆行， 「ライフ・イノベーション創出を支援するオンチップ細胞機能解析システムの開発」， 精密工学会 第349回講習会「精密計測・微細加工技術が切り拓く革新的モノづくりの世界」テキスト， pp.11-15, 2011.

柴田隆行， 「炭素系材料が切り拓くMEMS/NEMSの新世界」， NEW DIAMOND, 27 (1), pp.27-30, 2011.

原著論文

T. Shibata, S. Yukizono, T. Kawashima, M. Nagai, T. Kubota, M. Mita, “Modified Imprinting Process Using Hollow Microneedle Array for Forming Through Holes in Polymers”, Microelectron. Eng., 88 (8), pp.2121-2125, 2011.

E. Makino, T. Mineta, T. Mitsunaga, T. Kawashima, T. Shibata, “Sphincter Actuator Fabricated with PDMS/SMA Bimorph Cantilevers”, Microelectron. Eng., 88 (8), pp.2662-2665, 2011.

T. Mineta, S. Kudoh, E. Makino, T. Kawashima, T. Shibata, “Accurate and Simple Assembly Process of Shape Memory Alloy Tubular Micro Manipulator with a Bias Mechanism”, Microelectron. Eng., 88 (8), pp.2683-2686, 2011.

N. Kato, R. Oka, T. Sakai, T. Shibata, T. Kawashima, M. Nagai, T. Mineta, E. Makino, “Experimental and Computational Analysis of Water-Droplet Formation and Ejection Process Using Hollow Microneedle”, Jpn. J. Appl. Phys., 50 (6), 067202 (6pp), 2011.

T. Mineta, T. Deguchi, E. Makino, T. Kawashima, T. Shibata, “Fabrication of Cylindrical Micro Actuator by Etching of TiNiCu Shape Memory Alloy Tube”, Sens. Actuators A, 165 (2), pp.392-398, 2011.

招待講演

T. Shibata, “A Chip-Based System for Cell Manipulation and Cellular Function Analysis”, IEEE International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science 2011 (MHS 2011), Nagoya, Japan, 2011.

柴田隆行，『ライフ・イノベーション創出を支援するオンチップ細胞機能解析システムの開発』， 精密工学会 第349回講習会「精密計測・微細加工技術が切り拓く革新的モノづくりの世界」， 横浜，2011.

柴田隆行，『異分野融合マイクロ・ナノ構造創成技術』， （財）中部科学技術センター「超精密加工技術による高機能製品開発のための研究会」， 高岡，2011.

国際会議

K. Nakamura, T. Ozawa, S. Horiike, M. Nagai, T. Kawashima, T. Shibata, “Fabrication of Bioprobe for Spatial and Temporal Imaging of Cellular Functions of Single Living Cells”, Extended Abstract of International Workshop on Micro/Nano-Engineering, Kyoto, Japan, pp.55-56, 2011.

T. Matsugase, K. Tanaka, T. Kawashima, M. Nagai, T. Shibata, T. Mineta, E. Makino, “Development of Simultaneous Multi-Site Ion Conductance Microscopy Integrated with Nanoneedle Array for Cell Morphology Imaging”, Extended Abstract of International Workshop on Micro/Nano-Engineering, Kyoto, Japan, pp.74-75, 2011.

T. Torimoto, M. Nagai, T. Kawashima, T. Shibata, “A Novel Delivery Method of Biomolecules into Living Cells Based on Electrokinetic Flow”, Extended Abstract of International Workshop on Micro/Nano-Engineering, Kyoto, Japan, pp.108-109, 2011.

Y. Hayasaka, M. Nagai, N. Matsumoto, T. Kawashima, T. Shibata, “Cilia of Vorticella for Active Microfluidic Mixing”, Extended Abstract of International Workshop on Micro/Nano-Engineering, Kyoto, Japan, pp.112-113, 2011.

S. Horiike, T. Ozawa, K. Nakamura, T. Torimoto, M. Nagai, T. Kawashima, T. Shibata, “A Newly Designed Bioprobe for Spatial and Temporal Imaging of Cellular Functions of Single Living Cells”, Abstract of The Asia-Pacific Interdisciplinary Research Conference 2011 (AP-IRC 2011), Toyohashi, Japan, p.176, 2011.

Y. Yamada, G. Umegaki, T. Kawashima, M. Nagai, T. Shibata, T. Masuzawa, T. Kimura, A. Kishida, “Development of Cell Culture Microdevice Actuated by Piezoelectric Thin Films for Delivering Mechanical Vibratory Stimuli to Cells “, Abstract of The Asia-Pacific Interdisciplinary Research Conference 2011 (AP-IRC 2011), Toyohashi, Japan, p.160, 2011.

N. Matsumoto, M. Nagai, Y. Hayasaka, M. Oguri, T. Kawashima, T. Shibata, “Flow Regulator Powered by the Stalk of Vorticella Convarallia, Abstract of The Asia-Pacific Interdisciplinary Research Conference 2011 (AP-IRC 2011), Toyohashi, Japan, p.171, 2011.

T. Shibata, M. Nagai, T. Kawashima, “A Chip-Based System for Cell Manipulation and Cellular Function Analysis”, Abstract of IEEE International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science 2011 (MHS 2011), Nagoya, Japan, p.6, 2011.

T. Shibata, J. Yoshida, M. Nagai, T. Kawashima, T. Kubota, M. Mita, “A Novel Thermal Imprinting Technique for Forming Through Holes in Polymers by Using Hollow Microneedle Array”, Extended Abstract of The 37th International Conference on Micro and Nano Engineering 2011 (MNE 2011), Berlin, Germany, p.34., 2011.

E. Makino, Y. Sano, K. Watanabe, T. Mineta, T. Kawashima, T. Shibata, “Micro Flow Sensor for Detection of Thrombus Formation in Fine Blood Vessels”, Extended Abstract of The 37th International Conference on Micro and Nano Engineering 2011 (MNE 2011), Berlin, Germany, p.493, 2011.

T. Kawashima, T. Matsugase, M. Nagai, T. Shibata, T. Mineta, E. Makino, “Development of Simultaneous Multi-Site Ion-Conductance Microscope for Imaging of Cell Morphology”, Extended Abstract of The 37th International Conference on Micro and Nano Engineering 2011 (MNE 2011), Berlin, Germany, p.555, 2011.

T. Shibata, N. Kato, S. Horiike, T. Kawashima, M. Nagai, T. Mineta, E. Makino, “Fabrication of Bioprobe Integrated with Hollow Nanoneedle for Cellular Function Analysis”, Proceedings of The 24th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2011), Cancun, Mexico, pp.861-864, 2011.

国内学会

大原清孝，加藤啓太，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「セルパターニングのための超並列オンチップ細胞操作システムの開発」， 第54回自動制御連合講演会，豊橋，pp.1493-1495, 2011.

松ヶ瀬智哉，田中一匡，川島貴弘，永井萌土，柴田隆行，峯田　貴，牧野英司， 「細胞形態イメージングのための多点同時計測イオンコンダクタンス顕微鏡の開発」， 第54回自動制御連合講演会」，豊橋，pp.1496-1497, 2011.

中村健志，小澤辰也，堀池修平，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「細胞機能イメージングのためのナノニードル搭載型バイオプローブの開発」， 第54回自動制御連合講演会，豊橋，pp.1498-1499, 2011.

鳥本達郎，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「電気浸透流を利用した生体分子の細胞内デリバリー技術の開発， 第54回自動制御連合講演会，豊橋，pp.1500-1503, 2011.

丸野和浩，佐藤圭輔，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「ダイヤモンドAFMプローブを用いたナノ計測一体型超微細加工システムの開発（第3報） －プローブ作製プロセスの最適化－」，2011年度精密工学会秋季大会学術講演会，金沢，pp.359-360, 2011.

吉田隼兵，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行，久保田俊夫，御田　護， 「マイクロニードルアレイを用いた高品位・高能率マイクロ穴加工技術の開発（第3報） －樹脂フィルムへの貫通穴加工過程の評価－」，2011年度精密工学会秋季大会学術講演会，金沢，pp.361-362, 2011.

艾　靖宇，野村光由，柴田隆行，村上良彦，堀内　宰，桝田正美， 「微小径エンドミル加工における工具剛性の加工精度への影響」， 2011年度精密工学会秋季大会学術講演会，金沢，pp.301-302, 2011.

早坂　陽，永井萌土，松本伸賢，川島貴弘，柴田隆行， 「ツリガネムシの繊毛運動を用いたマイクロミキサの流れ場解析」， The 28th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems，東京，pp.385-370, 2011.

松本伸賢，早坂　陽，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「ツリガネムシの運動器官を利用したマイクロ流体素子の開発」， 平成23年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会，横浜，pp.11-16, 2011.

松ヶ瀬智哉，川島貴弘，永井萌土，柴田隆行，峯田　貴，牧野英司， 「多点同時イオンコンダクタンス計測による細胞形態イメージングデバイスの開発」， 第50回日本生体医工学会大会，東京，CDROM (2pp), 2011.

森川廣基，大原清孝，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行， 「セルパターニングのための細胞操作用マイクロマニピュレータアレイの開発（第3報） －生細胞の捕獲・脱離挙動の基礎的検討－」，2011年度精密工学会春季大会学術講演会， 東京，pp.1001-1002, 2011.

山田侑平，大竹英明，川島貴弘，永井萌土，柴田隆行，増澤　徹，木村　剛，岸田晶夫， 「オンチップ細胞機能制御のための圧電駆動型マイクロ細胞培養デバイスの開発 －培養細胞への機械的ナノ振動刺激の付与－」， 2011年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp.993-994, 2011.

柚木園　諭，吉田隼兵，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行，久保田俊夫，御田　護， 「マイクロニードルアレイを用いた高品位・高能率マイクロ穴加工技術の開発（第2報） －ニッケル製マイクロニードルアレイ工具の作製－」， 2011年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp.973-974, 2011.

木本誠二，野村光由，柴田隆行，村上良彦，堀内　宰，桝田正美， 「微小穴明けに関する研究－求心作用の穴位置精度への影響－」， 2011年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp.173-174, 2011.

高橋　渉，野村光由，桝田正美，柴田隆行，村上良彦，堀内　宰， 「微小径エンドミル加工における工具回転振れの形状精度への影響」， 2011年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp.329-330, 2011.

野村光由，柴田隆行，村上良彦，堀内　宰，桝田正美， 「高精度切削力測定による微小径ミーリング加工の評価－高周波びびり振動発生メカニズム－」， 日本機械学会東海支部第60期総会・講演会，豊橋，CDROM (2pp), 2011.

修士論文（2011年度）

堀池　修平，『細胞機能イメージングのためのナノニードル搭載型バイオプローブの開発』

近藤　賢太，『マイクロスタンプを用いたマスクレス微細めっきパターン形成技術の開発』

松ヶ瀬　智哉，『細胞形態イメージングのための多点同時計測イオンコンダクタンス顕微鏡の開発』

丸野　和浩，『ナノ計測一体型超微細加工システムのためのダイヤモンドAFMプローブの開発』

山田　侑平，『オンチップ細胞機能制御のための圧電駆動型マイクロ細胞培養デバイスの開発』

松本　伸賢，『バイオアクチュエータ融合型マイクロ流体制御素子の開発』

艾　靖宇，『微小径工具を用いたミーリング加工における溝形状誤差発生メカニズム』

受賞

松澤勇太（大学院生），ライフサポート学会「奨励賞」， 『オンチップ細胞機能制御のための圧電駆動型マイクロ細胞培養デバイスの開発』，2010.

著書・総説・解説

柴田隆行，川島貴弘，永井萌土，「マスクレス微細パターン創成技術」， 砥粒加工学会誌，54 (11), pp.644-647, 2010.

原著論文

T. Kawashima, T. Kimura, T. Okada, T. Shibata, M. Nomura, A. Kishida, “Feasibility Study on Cellular Network Analysis with Patterned Cell Culture Microdevice”, Microelectron. Eng., 87 (5-8), pp.704-707, 2010.

T. Shibata, T. Kawashima, T. Kubota, M. Mita, “Direct Polymer-Transfer Lithography for High-Throughput Fabrication of Cu Line Patterns”, Microelectron. Eng., 87 (5-8), pp.843-847, 2010.

N. Kato, T. Shibata, T. Kawashima, T. Mineta, E. Makino, “Micromachining of A Newly Designed AFM Probe Integrated with Hollow Microneedle for Cellular Function Analysis”, Microelectron. Eng., 87 (5-8), pp.1185-1189, 2010.

O. Horiuchi, B. Ma, M. Nomura, T. Shibata, Y. Murakami, M. Masuda, “Study on Tool Life by Breakage in Micro Endmilling”, Adv. Mater. Res., 126-128, pp.214-219, 2010.

招待講演

柴田隆行，永井萌土，川島貴弘，『マスクレス微細パターン創成技術』， 第41回中部化学関係学協会支部連合秋季大会」，豊橋，2010.

柴田隆行，『ライフ・イノベーション創出を支援する超並列オンチップ細胞機能解析システム』， 日本生体医工学会「医用アクチュエーション研究会 第1回講演会」，東京，2010.

柴田隆行，『マスクレス微細パターン創成技術』，砥粒加工学会「超精密加工の研究の最前線（in中部）」， 春日井，2010.

柴田隆行，『超並列オンチップ細胞機能解析システム』， （財）科学技術交流財団「第6回超精密加工研究会」，豊橋，2010.

柴田隆行，『オンチップ細胞操作・機能解析用MEMSデバイス』， 精密工学会「微細加工と表面機能」専門委員会，ひたちなか，2010.

国際会議

T. Kawashima, T. Shibata, M. Nagai, T. Masuzawa, T. Kimura, A. Kishida, “Feasibility Study of Cell Culture Microdevice Actuated by Piezoelectric Thin Film for On-Chip Regulation of Cell Functions”, Proceedings of The 14th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2010), Groningen, The Netherlands, pp.301-303, 2010.

T. Shibata, S. Yukizono, M. Nagai, T. Kawashima, T. Kubota, M. Mita, “A Modified Imprinting Process Using Hollow Microneedle Array for Forming Through Holes in Polymers”, Extended Abstract of The 36th International Conference on Micro and Nano Engineering 2010 (MNE 2010), Genoa, Italy, CDROM (2pp), 2010.

N. Kato, S. Horiike, M. Nagai, T. Kawashima,T. Shibata, T. Mineta, E. Makino, “Fabrication of Bioprobe Integrated with Hollow Nanoneedle for Novel AFM Applications in Cellular Function Analysis”, Extended Abstract of The 36th International Conference on Micro and Nano Engineering 2010 (MNE 2010), Genoa, Italy, CDROM (2pp), 2010.

E. Makino, T. Mineta, T. Mitsunaga, T. Kawashima, T. Shibata, “Sphincter Actuator Fabricated with PDMS/SMA Bimorph Cantilevers”, Extended Abstract of The 36th International Conference on Micro and Nano Engineering 2010 (MNE 2010), Genoa, Italy, CDROM (2pp), 2010.

T. Mineta, S. Kudoh, E. Makino, T. Kawashima, T. Shibata, “Accurate Assembly Process of Shape Memory Alloy Tubular Micro Manipulator with a Coaxial Bias Mechanism”, Extended Abstract of The 36th International Conference on Micro and Nano Engineering 2010 (MNE 2010), Genoa, Italy, CDROM (2pp), 2010.

T. Kawashima, T. Okada, T. Shibata, A. Matsuda, T. Mineta, E. Makino, “Microimprint Fabrication of Optical Waveguide Based on Organic-Inorganic Hybrid Materials for On-chip Medical Diagnosis”, Abstract of The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2010), Perth, Australia, p.106, 2010.

R. Oka, T. Shibata, T. Kawashima, T. Mineta, E. Makino, “Development of Maskless Patterning Technique Based on Electroplating with Microneedle Array”, Abstract of The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2010), Perth, Australia, p.225, 2010.

国内学会

山田侑平，大竹英明，柴田隆行，川島貴弘，永井萌土，増澤　徹，木村　剛，岸田晶夫， 「オンチップ細胞機能制御のための圧電駆動型マイクロ細胞培養デバイスの開発 －細胞導入の効率化と細胞実験の基礎的検討－」，第53回自動制御連合講演会，高知，pp.1143-1144, 2010.

加藤統久，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行，峯田　貴，牧野英司， 「細胞機能イメージングのためのナノニードル搭載型バイオプローブの開発」， The 27th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems，松江，pp.482-485, 2010.

柚木園　諭，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行，久保田俊夫，御田　護， 「マイクロニードルアレイを用いた高品位・高能率マイクロ穴加工技術の開発（第1報） －樹脂フィルムへの貫通穴の形成－」，2010年度精密工学会秋季大会学術講演会，名古屋，pp.649-650, 2010.

堀池修平，加藤統久，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行，峯田　貴，牧野英司， 「細胞機能解析のためのマイクロニードル搭載型バイオプローブの開発（第6報） －培養液中での細胞の形状イメージング－」，2010年度精密工学会秋季大会学術講演会，名古屋，pp.655-656, 2010.

高橋　渉，野村光由，桝田正美，柴田隆行，村上良彦，堀内　宰， 「微細エンドミル加工における工具回転振れの加工精度への影響」， 2010年度精密工学会秋季大会学術講演会，名古屋，pp.39-40, 2010.

木本誠二，野村光由，柴田隆行，村上良彦，堀内　宰，桝田正美， 「微小穴明けにおけるドリル振れの影響に関する研究」， 2010年度精密工学会秋季大会学術講演会，名古屋，pp.317-318, 2010.

T. Kawashima, Y. Matsuzawa, Y. Yamada, T. Shibata, T. Masuzawa, T. Kimura, A. Kishida, “Development of Cell Culture Microdevice Integrated with Piezoelectric Thin Film Actuator for On-Chip Regulation of Cell Functions”，第49回日本生体医工学会大会，大阪，CDROM (1pp), 2010.

岡田隆志，松ヶ瀬智哉，川島貴弘，柴田隆行，峯田　貴，牧野英司， 「オンチップ医療診断のための表面増強ラマン分光分析デバイスの開発 －銀ナノ粒子配列基板の作製と特性評価－，第49回日本生体医工学会大会，大阪，CDROM (1pp), 2010.

加藤統久，堀池修平，柴田隆行，川島貴弘，峯田　貴，牧野英司， 「細胞機能解析のためのマイクロニードル搭載型バイオプローブの開発（第5報） －バイオプローブの機械的特性と微小流体吐出挙動の評価－」， 2010年度精密工学会春季大会学術講演会，さいたま，pp.1075-1076, 2010.

伊藤雅仁，石垣麻奈，柴田隆行，川島貴弘，峯田　貴，牧野英司， 「経皮ドラッグデリバリーのための無痛マイクロニードルアレイの開発（第1報） －先端傾斜マイクロニードルの作製と穿刺性能評価－」， 2010年度精密工学会春季大会学術講演会，さいたま，pp.1077-1078, 2010.

岡　亮太郎，柴田隆行，川島貴弘，峯田　貴，牧野英司， 「マイクロニードルアレイを用いたマスクレス微細めっきパターニング技術の開発（第1報） －静電引力による微小流体吐出挙動の評価－」， 2010年度精密工学会春季大会学術講演会，さいたま，pp.1133-1134, 2010.

高橋　渉，野村光由，桝田正美，柴田隆行，村上良彦，堀内　宰， 「小径エンドミル加工における動的切削力測定の検討」， 2010年度精密工学会春季大会学術講演会，さいたま，pp.9-10, 2010.

木本誠二，川端美穂，野村光由，柴田隆行，村上良彦，堀内　宰，桝田正美， 「小径エンドミル加工における微細溝形状に関する研究」， 2010年度精密工学会春季大会学術講演会，さいたま，pp.11-12, 2010.

松澤勇太，山田侑平，柴田隆行，川島貴弘，増澤　徹，木村　剛，岸田晶夫， 「オンチップ細胞機能制御のための圧電駆動型マイクロ細胞培養デバイスの開発」， 第19回ライフサポート学会フロンティア講演会，東京，p.70, 2010.

特許

柴田隆行，川島貴弘，永井萌土，久保田俊夫，御田　護， 「微細穴加工用工具およびその作製方法ならびに高分子フィルムの加工方法」， 特願2010-207803（出願日2010.9.16）.

修士論文（2010年度）

岡　亮太郎，『マイクロニードルアレイを用いたマスクレス微細めっきパターン形成技術の開発』

岡田　隆志，『オンチップ医療診断のための表面増強ラマン分光分析デバイスの開発』

森川　廣基，『セルパターニングのための細胞操作用マイクロマニピュレータアレイの開発』

柚木園　諭，『マイクロニードルアレイ工具を用いた微細穴加工技術の開発』

木本　誠二，『微小穴明けにおける求心作用の穴位置精度への影響』

高橋　渉，『微小径エンドミル加工における溝形状精度に関する研究』

受賞

柴田隆行，第26回永井科学技術財団賞「学術賞」， 『マイクロ・ナノ構造創成技術の開発とMEMSデバイスへの応用』，2009.

松澤勇太（大学院生），第25回ライフサポート学会大会「バリアフリーシステム開発財団奨励賞Finalist」， 『オンチップ細胞機能制御のための圧電駆動型マイクロ細胞培養デバイスの開発』，2009.

須藤　正（大学院生），2009年度精密工学会秋季大会学術講演会「ベストポスタープレゼンテーション賞」， 『ダイヤモンドAFMプローブを用いたナノ計測一体型超微細加工システムの開発（第2報） －Siカンチレバー上への先鋭化ダイヤモンド探針の形成－』，2009.

著書・総説・解説

柴田隆行，「インプリント用電鋳金型の最新動向」，成形加工，21 (4), pp.178-182, 2009.

原著論文

T. Kawashima, T. Sakai, N. Kato, T. Shibata, M. Nomura, T. Mineta, E. Makino, “Mechanical Characterization and Insertion Performance of Hollow Microneedle Array for Cell Surgery”, J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS, 8 (3), 033014 (7pp), 2009.

S. Morita, T. Mineta, E. Makino, A. Umino, T. Kawashima, T. Shibata, “Fabrication of Novel Silicon Dual Atomic Force Microscope Tip with Narrow Gap”, J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS, 8 (2), 021117 (5pp), 2009.

T. Mineta, K. Kasai, Y. Sasaki, E. Makino, T. Kawashima, T. Shibata, “Flash-Evaporated TiNiCu Thick Film for Shape Memory Alloy Micro Actuator”, Microelectron. Eng., 86 (4-6), pp.1274-1277, 2009.

T. Shibata, S. Yamanaka, N. Kato, T. Kawashima, M. Nomura, T. Mineta, E. Makino, “Fabrication of Micromanipulator Array for Cell Patterning”, Microelectron. Eng., 86 (4-6), pp.1439-1442, 2009.

T. Mineta, T. Takada, E. Makino, T. Kawashima, T. Shibata, “A Wet Abrasive Blasting Process for Smooth Micromachining of Glass by Ductile-mode Removal”, J. Micromech. Microeng., 19 (1), 015031 (8pp), 2009.

M. Nomura, T. Kawashima, T. Shibata, Y. Murakami, M. Masuda, O. Horiuchi, “Study on Unique Cutting Phenomena in Micro Endmilling – Mechanism and Possibility to Occur -“, Adv. Mater. Res., 76-78, pp.508-513, 2009.

M. Nomura, T. Kawashima, T. Shibata, Y. Murakami, M. Masuda, O. Horiuchi, “Development of Axial Encoder to Measure Spindle Axial Motion”, Int. J. Automation Technol., 3 (3), pp.286-291, 2009.

B. Ma, M. Nomura, T. Kawashima, T. Shibata, Y. Murakami, M. Masuda, O. Horiuchi, “Study on Micro Drilling – Rotating Bending Fatigue of Micro Carbide Drills -, Key Eng. Mater., 407-408, pp.45-48, 2009.

招待講演

T. Shibata, N. Kato, T. Kawashima, “Novel MEMS Devices for Massively Parallel Manipulation and Analysis of Single Cells”, International Symposium on LifeChips (LifeChips 2009), Irvine, CA, USA, 2009.

柴田隆行，川島貴弘，『細胞操作用MEMSと医用アクチュエーション』， 平成21年度電気学会産業応用部門大会，津，2009.

柴田隆行，『マスクレス微細加工技術とオンチップ細胞操作用MEMSデバイス』， （財）にいがた産業創造機構「第5回にいがたナノテク研究会」，長岡，2009.

柴田隆行，『マスクレス微細加工技術と細胞操作用MEMS』， （財）マイクロマシンセンター「第19回マイクロナノ先端技術交流会」，東京，2009.

柴田隆行，『微細加工技術とバイオ・医療用MEMSデバイス』， （財）山形県産業技術振興機構「超精密技術融合プロセス検討会」，山形，2009.

柴田隆行，『MEMS技術によるイノベ－ションの創出と異分野融合』， 第297回 東三河産学官交流サロン」，豊橋，2009.

国際会議

T. Kawashima, Y. Matsuzawa, T. Shibata, M. Nomura, T. Masuzawa, A. Kishida, “Characterization of Cell Culture Microdevice Integrated with Piezoelectric Thin Film Actuator for Delivering Mechanical Vibratory Stimuli to Cells”, Proceedings of The 3rd International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN 2009), Kitakyushu, Japan, CDROM (4pp), 2009.

T. Kitahara, S. Kanai, T. Shibata, T. Kawashima, “Process Planning System for MEMS Device using a 3D Geometric Model”, Proceedings of The 3rd International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN 2009), Kitakyushu, Japan, CDROM (5pp), 2009.

N. Kato, T. Shibata, R. Oka, T. Sakai, T. Kawashima, M. Nomura, T. Mineta, E. Makino, “Experimental and Computational Analysis of Microfluid Ejection Process using Microneedle for Cell Surgery”, Proceedings of The 13th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2009), Jeju. Korea, pp.716-718, 2009.

T. Shibata, T. Kawashima, T. Kubota, M. Mita, “Direct Polymer Transfer Lithography for Fine Patterning”, Extended Abstract of The 35th International Conference on Micro and Nano Engineering 2009 (MNE 2009), Ghent, Belgium, CDROM (2pp), 2009.

N. Kato, T. Shibata, T. Kawashima, T. Mineta, E. Makino, “Micromachining of Newly Designed AFM Probe Integrated with Hollow Microneedle for Cellular Function Analysis”, Extended Abstract of The 35th International Conference on Micro and Nano Engineering 2009 (MNE 2009), Ghent, Belgium, CDROM (2pp), 2009.

T. Kawashima, T. Kimura, T. Okada, T. Shibata, M. Nomura, A. Kishida, “Feasibility Study on Cellular Network Analysis with Patterned Cell Culture Microdevice”, Extended Abstract of The 35th International Conference on Micro and Nano Engineering 2009 (MNE 2009), Ghent, Belgium, CDROM (2pp), 2009.

E. Makino, T. Mineta, K. Kasai, T. Arisaka, T. Kawashima, T. Shibata, “Flash Evaporated SMA Thick Films for Medical Micro Actuators”, Extended Abstract of The 35th International Conference on Micro and Nano Engineering 2009 (MNE 2009), Ghent, Belgium, CDROM (2pp), 2009.

M. Ozaki, N. Kida, T. Mineta, E. Makino, S. Toh, T. Kawashima, T. Shibata, “Heating and Actuation Characteristics of Shape Memory Thin Film Actuator for Blood Vessel Holding and Releasing”, Proceedings of The 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2009), Denver, Colorado, USA, pp.1770-1773, 2009.

N. Kato, T. Sakai, T. Shibata, T. Kawashima, T. Mineta, E. Makino, “Fabrication of Novel Designed AFM Probe Integrated with Microneedle for Cellular Function Analysis”, Proceedings of The 9th European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen 2009), San Sebastian, Spain, Vol. II, pp.154-157, 2009.

T. Shibata, T. Sutou, T. Kawashima, M. Nomura, T. Mineta, E. Makino, “Fabrication of AFM Probe Integrated with High-Aspect-Ratio Diamond Tip”, Proceedings of The 9th European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen 2009), San Sebastian, Spain, Vol. II, pp.162-165, 2009.

N. Kato, T. Shibata, T. Kawashima, T. Mineta, E. Makino, “Development of Bioprobe Integrated with Microneedle for Cellular Function Analysis”, Extended Abstract of The 5th International Conference and Exhibition on Device Packaging (DPC 2009), Arizona, USA, pp.131-132, 2009.

N. Kato, T. Kawashima, T. Shibata, “Development of Novel Designed AFM probe Integrated with Microneedle for Cellular Function Analysis”, International Symposium on LifeChips (LifeChips 2009), Irvine, CA, USA, 2009.

M. Nomura, A. Kataoka, T. Kawashima, T. Shibata, Y. Murakami, M. Masuda, O. Horiuchi, “Study on Micro End Milling Using Precise Cutting Force Measurement”, Proceedings of The 5th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21), Osaka, Japan, pp.639-642, 2009.

B. Ma, M. Nomura, T. Kawashima, T. Shibata, Y. Murakami, M. Masuda, O. Horiuchi, “Study on Micro Hole Drilling – Rotating Bending Fatigue of Micro Carbide Drills -“, The 9th International Conference on Progress of Machining Technology (ICPMT 2009), Kunming, China, 2009.

国内学会

T. Kawashima, Y. Matsuzawa, T. Shibata, T. Masuzawa, T. Kimura, A. Kishida, “Characterization of Cell Culture Microdevice Actuated by Piezoelectric Thin Film for Delivering Mechanical Vibratory Stimuli to Cells”, The 26th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems, Tokyo, pp.463-466, 2009.

松澤勇太，柴田隆行，川島貴弘，増澤　徹，木村　剛，岸田晶夫， 「オンチップ細胞機能制御のための圧電駆動型マイクロ細胞培養デバイスの開発」， 第7回生活支援工学系学会連合大会，高知，pp.92-93, 2009.

田中真二，近藤賢太，柴田隆行，川島貴弘，久保田　俊夫，御田　護， 「マスクレス微細パターニングのためのダイレクトインプリント技術の開発（第1報） －銅配線パターン形成における表面濡れ性の影響－」， 2009年度精密工学会秋季大会学術講演会，神戸，pp.13-14, 2009.

加藤統久，堀池修平，柴田隆行，川島貴弘，峯田　貴，牧野英司， 「細胞機能解析のためのマイクロニードル搭載型バイオプローブの開発（第4報） －マイクロニードルの機械的強度およびAFM計測性能の評価－」， 2009年度精密工学会秋季大会学術講演会，神戸，pp.33-34, 2009.

須藤　正，丸野和浩，柴田隆行，川島貴弘，安武正敏， 「ダイヤモンドAFMプローブを用いたナノ計測一体型超微細加工システムの開発（第2報） －Siカンチレバー上への先鋭化ダイヤモンド探針の形成－」， 2009年度精密工学会秋季大会学術講演会，神戸，pp.35-36, 2009.

野村光由，片岡篤司，柴田隆行，村上良彦，堀内　宰，桝田正美， 「微小径エンドミル加工における切削力測定に関する研究」， 2009年度精密工学会秋季大会学術講演会，神戸，pp.639-640, 2009.

加藤統久，柴田隆行，川島貴弘，峯田　貴，牧野英司， 「高機能セローム解析のためのマイクロニードル搭載型AFMプローブの開発」， 第48回日本生体医工学会大会，東京，p.116, 2009.

川島貴弘，木村　剛，新町拓也，Siti Intan Suraya，岡田隆志，柴田隆行，岸田晶夫， 「細胞ネットワーク機能解析のためのマイクロ空間細胞配列デバイスの開発－細胞パターニングの基礎的検討－」， 第48回日本生体医工学会大会，東京，p.432, 2009.

松澤勇太，柴田隆行，川島貴弘，増澤　徹，岸田晶夫， 「オンチップ細胞機能制御のための圧電駆動型マイクロ細胞培養デバイスの開発」， 日本機械学会東海支部第58期総会・講演会，岐阜，pp.59-60, 2009.

須藤　正，柴田隆行，川島貴弘，安武正敏， 「ナノ計測一体型超微細加工システムのためのダイヤモンドAFMプローブの開発」， 日本機械学会東海支部第58期総会・講演会，岐阜，pp.61-62, 2009.

猿田基樹，古谷友樹，柴田隆行，川島貴弘，久保田　俊夫，御田　護， 「ニッケル電鋳金型を用いたマイクロインプリント技術の開発（第3報） －補強枠付ニッケル電鋳金型のインプリント性能－」， 2009年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp.739-740, 2009.

岡　亮太郎，酒井貴浩，柴田隆行，川島貴弘，峯田　貴，牧野英司， 「オンチップ細胞サージェリーシステムのためのマイクロニードルアレイの開発（第4報） －微小流体吐出モデルの提案－」，2009年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp.743-744, 2009.

山中信司，森川廣基，柴田隆行，川島貴弘，峯田　貴，牧野英司， 「セルパターニングのための細胞操作用マイクロマニピュレータアレイの開発（第2報） －吸盤型マイクロニードルの微粒子捕獲性能－」，2009年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp.747-748, 2009.

堀内　宰，野村光由，柴田隆行，村上良彦，桝田正美， 「極小径エンドミル加工における特異な切削現象－メカニズムと生起可能性について－」， 2009年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp.597-598, 2009.

修士論文（2009年度）

伊藤　雅仁，『経皮ドラッグデリバリーのための無痛マイクロニードルアレイの開発』

須藤　正，『ナノ計測一体型超微細加工システムのためのダイヤモンドAFMプローブの開発』

田中　真二，『マスクレス微細パターニングのためのダイレクトインプリント技術の開発』

松澤　勇太，『オンチップ細胞機能制御のための圧電駆動型マイクロ細胞培養デバイスの開発』

Ma Boxiao，『微小径エンドミル加工における工具寿命に関する研究』

新聞報道

『補強枠の接続と電鋳を同時に－MEPJ，産学で開発－』，日刊工業新聞，2008.9.25.

著書・総説・解説

柴田隆行，「MEMSへの技術展望」，ダイヤモンドエレクトロニクスの最前線， シーエムシー出版，東京，pp.299-323, 2008.

柴田隆行，川島貴弘，「電鋳法によるマイクロインプリント用金型の作製技術」，微細転写・加工技術全集， 技術情報協会，東京，pp.221-234, 2008.

柴田隆行，「圧電材料，超磁歪材料，形状記憶合金」， 電気学会技術報告 第1122号（D部門）「医用アクチュエーション技術の現状」， 電気学会（産業応用部門リニアドライブ委員会），東京，pp.18-23, 2008.

原著論文

T. Mineta, Y. Tanahashi, E. Makino, S. Toh, T. Kawashima, T. Shibata, “Thermal Type Blood Flow Sensor on Titanium Micro Needle”, Sens. Mater., 20 (7), pp.341-349, 2008.

T. Shibata, Y. Takahashi, T. Kawashima, T. Kubota, M. Mita, T. Mineta, E. Makino, “Micromachining of Electroformed Nickel Mold using Thick Photoresist Microstructure for Imprint Technology”, Microsyst. Technol., 14 (9-11), pp.1359-1365, 2008.

峯田　貴，久保　悠，牧口大輔，牧野英司，川島貴弘，柴田隆行， 「TiNi合金フラッシュ蒸着膜の柔軟性へ及ぼす成膜温度および熱処理の影響」， 表面技術，59 (9), pp.615-620, 2008.

T. Hayashi, T. Shibata, T. Kawashima, E. Makino, T. Mineta, T. Masuzawa, “Photolithography System with Liquid Crystal Display as Active Gray-Tone Mask for 3D Structuring of Photoresist”, Sens. Actuators A, 144 (2), pp.381-388, 2008.

T. Mineta, N. Kida, S. Nomura, E. Makino, T. Sugawara, S. Toh, T. Shibata, “Pulsation Sensor Integrated with Microvascular Holding Actuator for Thrombosis Monitoring”, Sens. Actuators A, 143 (1), pp.14-19, 2008.

M. Nomura, T. Kawashima, T. Shibata, Y. Murakami, M. Masuda, O. Horiuchi, “Development of a Prototype of Radial Encoder to Measure Spindle Radial Motion”, Academic Journal of Manufacturing Engineering, 6 (4), pp.84-89, 2008.

招待講演

柴田隆行，『オンチップ細胞機能解析システムを実現するMEMSデバイスの開発』， （独）日本学術振興会「将来加工技術第136委員会 第29回研究会」，東京，2008.

柴田隆行，『細胞機能解析用MEMSデバイスの設計支援シミュレーション』， 日本塑性加工学会「プロセッシング計算力学分科会　第20回セミナー」，京都，2008.

国際会議

T. Shibata, N. Kato, T. Sakai, T. Kawashima, M. Nomura, T. Mineta, E. Makino, “Fabrication and Fluid Ejection Performance of Microneedle Array for Cellular Function Analysis”, Proceedings of The 3rd JSME/ASME International Conference on Materials and Processing (ICM&P 2008), Evanston, IL, USA, CDROM (4pp), 2008.

T. Kawashima, T. Shibata, “Characterization of Microfabricated Devices for Cellular Network Analysis”, Proceedings of The 9th Japan-Korea Joint Workshop on Advanced Semiconductor Processes and Equipments (ASPE 2008), Shikabe, Japan, pp.178-181, 2008.

T. Shibata, S. Yamanaka, N. Kato, T. Kawashima, M. Nomura, T. Mineta, E. Makino, “Fabrication of Micromanipulator Array for Cell Patterning”, Extended Abstract of The 34th International Conference on Micro and Nano Engineering 2008 (MNE 2008), Athenes, Greece, p.526, 2008.

T. Kawashima, T. Shinmachi, T. Shibata, M. Nomura, T. Kimura, A. Kishida, T. Mineta, E. Makino, “Fabrication of Spatial Cell Patterning Device for Cellular Network Analysis”, Extended Abstract of The 34th International Conference on Micro and Nano Engineering 2008 (MNE 2008), Athenes, Greece, p.529, 2008.

E. Makino, K. Kasai, Y. Sasaki, T. Mineta, T. Kawashima, T. Shibata, “Flash-Evaporated TiNiCu Thick Film for Shape Memory Alloy Micro Actuator”, Extended Abstract of The 34th International Conference on Micro and Nano Engineering 2008 (MNE 2008), Athenes, Greece, p.372, 2008.

T. Kawashima, T. Shibata, T. Sakai, N. Kato, M. Nomura, T. Mineta, E. Makino, “Insertion Performance of Hollow Microneedle Array for Cell Surgery”, Proceedings of The 4th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2008), Tainan, Taiwan, pp.241-244, 2008.

Y. Tanahashi, T. Mineta, E. Makino, S. Toh, T. Shibata, “Thermal Type Blood Flow Sensor Integrated with Ti Micro Needle”, Proceedings of The 4th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2008), Tainan, Taiwan, pp.182-185, 2008.

S. Morita, T. Mineta, E. Makino, T. Shibata, “Fabrication of Novel Si Dual AFM Tips with Narrow Gap”, Proceedings of The 4th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2008), Tainan, Taiwan, pp.90-93, 2008.

M. Nomura, T. Kawashima, T. Shibata, Y. Murakami, M. Masuda, O. Horiuchi, “Development of a Prototype of Radial Encoder”, Proceedings of The 2nd International Conference on Computing and Solutions in Manufacturing Engineering (CoSME 08), Brasov, Romania, pp.361-366, 2008.

M. Nomura, T. Kawashima, Y. Murakami, O. Horiuchi, T. Shibata, “A Study on Small Hole Drilling”, Proceedings of The 3rd CIRP International Conference on High Performance Cutting 2008 (CIRP HPC 2008), Dublin, Ireland, Vol. 2, pp.539-548, 2008.

国内学会

酒井貴浩，岡　亮太郎，柴田隆行，川島貴弘，峯田　貴，牧野英司， 「マイクロニードルアレイを用いたマスクレス微細パターニング技術の開発 －微細めっきパターン形成のための基礎的検討－」， 日本機械学会第7回生産加工・工作機械部門講演会，岐阜，pp.115-116, 2008.

田中真二，柴田隆行，川島貴弘，久保田俊夫，御田　護， 「微細パターニングのためのダイレクトインプリント技術の開発」， 日本機械学会第7回生産加工・工作機械部門講演会，岐阜，pp.117-118, 2008.

新町拓也，岡田隆志，Siti Intan Suraya，川島貴弘，柴田隆行，木村　剛，岸田晶夫， 「細胞ネットワーク機能解析のためのマイクロ空間細胞配列デバイスの開発－細胞配列の可能性の検討－」， 日本機械学会第7回生産加工・工作機械部門講演会，岐阜，pp.119-120, 2008.

N. Kato, T. Shibata, T. Kawashima, T. Mineta, E. Makino, “Development of Bioprobe Integrated with Microneedle for Cellular Function Analysis”, The 25th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems, Okinawa, pp.190-194, 2008.

T. Mineta, T. Deguchi, E. Makino, T. Kawashima, T. Shibata, “Fabrication of Cylindrical Micro Actuator by Etching of TiNiCu Shape Memory Alloy Tube”, The 25th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems, Okinawa, pp.42-45, 2008.

猿田基樹，古谷友樹，柴田隆行，川島貴弘，久保田　俊夫，御田　護， 「ニッケル電鋳金型を用いたマイクロインプリント技術の開発（第2報） －インプリント用金型の新しい作製技術の提案－」， 2008年度精密工学会秋季大会学術講演会，仙台，pp.710-702, 2008.

加藤統久，柚木園　諭，柴田隆行，川島貴弘，峯田　貴，牧野英司， 「細胞機能解析のためのマイクロニードル搭載型バイオプローブの開発（第3報） －バイオプローブの作製と基本性能の評価－」， 2008年度精密工学会秋季大会学術講演会，仙台，pp.709-710, 2008.

Ma Boxiao，野村光由，柴田隆行，村上良彦，堀内　宰，桝田正美， 「極小径ドリル加工に関する研究－極小径超硬ドリル材料の回転曲げ疲労強度試験－」， 2008年度精密工学会秋季大会学術講演会，仙台，pp.27-28, 2008.

片岡篤司，野村光由，柴田隆行，村上良彦，堀内　宰，桝田正美， 「極小径エンドミルによる微細加工に関する基礎研究－極小径エンドミル加工における切削力－」， 2008年度精密工学会秋季大会学術講演会，仙台，pp.113-114, 2008.

高橋　渉，野村光由，柴田隆行，村上良彦，堀内　宰，桝田正美， 「極小径エンドミル加工における切削条件の最適化」， 2008年度精密工学会秋季大会学術講演会，仙台，pp.115-116, 2008.

木本誠二，野村光由，柴田隆行，村上良彦，堀内　宰，桝田正美， 「アキシャルエンコーダの試作」，2008年度精密工学会秋季大会学術講演会，仙台，pp.583-584, 2008.

棚橋祐輝，峯田　貴，牧野英司，藤　哲，柴田隆行， 「血栓検出のための熱型マイクロ血流センサ」，第47回日本生体医工学会大会，神戸，p.248, 2008.

川島貴弘，新町拓也，柴田隆行，峯田　貴，牧野英司， 「細胞ネットワーク機能解析のためのマイクロ空間細胞配列チップの開発－細胞を模擬した微粒子の配列実験－」， 2008年度精密工学会春季大会学術講演会，川崎，pp.825-826, 2008.

山中信司，柴田隆行，川島貴弘，峯田　貴，牧野英司， 「セルパターニングのための細胞操作用マイクロマニピュレータアレイの開発（第1報） －吸盤型マイクロニードルの作製－」， 2008年度精密工学会春季大会学術講演会，川崎，pp.827-828, 2008.

酒井貴浩，柴田隆行，川島貴弘，峯田　貴，牧野英司， 「オンチップ細胞サージェリーシステムのためのマイクロニードルアレイの開発（第3報） －液体注入および穿刺性能の評価－」， 2008年度精密工学会春季大会学術講演会，川崎，pp.835-836, 2008.

Sintrakarnpon Sethapon，野村光由，村上良彦，堀内　宰，柴田隆行， 「微小径エンドミル加工に関する研究－極小径エンドミルの切削力解析－」， 2008年度精密工学会春季大会学術講演会，川崎，pp.151-152, 2008.

片岡篤司，野村光由，堀内　宰，柴田隆行，村上良彦， 「ラジアルエンコーダの試作」，2008年度精密工学会春季大会学術講演会，川崎，pp.513-514, 2008.

Ma Boxiao，柴田隆行，村上良彦，堀内　宰, 野村光由，「 微小径ドリル加工に関する研究」，2008年度精密工学会春季大会学術講演会，川崎，pp.579-580, 2008.

葛西恒二，佐々木祐希，峯田 貴，牧野英司，柴田隆行， 「フラッシュ真空蒸着によるTiNiCu 形状記憶合金厚膜の形成」，表面技術協会第117回講演大会，習志野，p.97, 2008.

盛田慎二，峯田　貴，牧野英司，柴田隆行， 「近接デュアルAFMプローブ形成のためのSiナノマシニング」，表面技術協会第117回講演大会，習志野，p.240, 2008.

棚橋祐輝，峯田　貴，牧野英司，柴田隆行， 「Ti電解エッチングによる微細パターンの形成」，表面技術協会第117回講演大会，習志野，p.273, 2008.

脇坂健司，松澤勇太，柴田隆行，川島貴弘，増澤　徹，岸田晶夫， 「細胞機能制御のための圧電駆動型マイクロ細胞培養チップの開発」， 日本機械学会東海支部第57期総会・講演会，名古屋，pp.141-142, 2008.

長目　淳，田中真二，柴田隆行，川島貴弘，久保田　俊夫，御田　護， 「微細パターニングのためのダイレクトインプリント技術の開発」， 日本機械学会東海支部第57期総会・講演会，名古屋，pp.143-144, 2008.

加藤統久，伊藤雅仁，柴田隆行，川島貴弘，峯田　貴，牧野英司， 「細胞機能解析のためのマイクロニードル搭載型AFMプローブの開発」， 日本機械学会東海支部第57期総会・講演会，名古屋，pp.147-148, 2008.

特許

柴田隆行，久保田俊夫，御田　護，木曽裕次，山本　仁， 「電鋳品及びその製造方法」，特願2008-9422（出願日2008.1.18）.

修士論文（2008年度）

酒井　貴浩，『マイクロニードルアレイを用いたマスクレス微細パターニング技術の開発』

猿田　基樹，『ニッケル電鋳金型を用いたマイクロインプリント技術の開発』

新町　拓也，『細胞ネットワーク機能解析のためのマイクロ空間細胞配列デバイスの開発』

山中　信司，『セルパターニングのための細胞操作用マイクロマニピュレータアレイの開発』

片岡　篤司，『切削力測定による極小径ミーリングのメカニズム解明』

新聞報道

『微細な注射針大量生産－豊橋技科大　半導体技術を転用－』，日経産業新聞，2007.5.23.

原著論文

菅原　卓，峯田　貴，牧野英司，藤　哲，柴田隆行， 「形状記憶合金薄膜を用いた着脱式微小動脈センサー：実験的研究」， 日本マイクロサージャリー学会会誌，20 (1), pp.17-25, 2007.

O. Horiuchi, T. Shibata, “Computer Simulations of Cylindrical Plunge Grinding – Influence of Work Stiffness on Grinding Accuracy -“, Key Eng. Mater., 329, pp.51-56, 2007.

堀内　宰，柴田隆行， 「円筒プランジ研削のコンピュータシミュレーション－ワーク剛性が研削精度に及ぼす影響－」， 砥粒加工学会誌，51 (12), pp.700-704, 2007.

伊藤伸英，篠塚　淳，前川克廣，増澤　徹，伊藤吾朗，金野　満，柴田隆行， 「茨城大学工学部における “ものづくり” 創造教育の取り組み」，工学教育，55 (2), pp.13-20, 2007.

招待講演

柴田隆行，『医用・バイオMEMS』，電気学会「リニアドライブ技術委員会 第2回研究会」，東京，2007.

国際会議

T. Shibata, A. Nakanishi, T. Sakai, N. Kato, T. Kawashima, T. Mineta, E. Makino, “Fabrication and Mechanical Characterization of Microneedle Array for Cell Surgery”, Proceedings of The 14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 07), Lyon, France, Vol. 1, pp.719-722, 2007.

T. Shibata, Y. Takahashi, T. Kawashima, T. Kubota, T. Mineta, E. Makino, “Micromachining of Electroformed Nickel Mold using Thick Photoresist Microstructure for Imprint Technology”, Proceedings of The 7th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST-007), Besancon, France, pp.183-184, 2007.

T. Mineta, E. Makino, K. Kasai, M. Goto, T. Shibata, “Micromachining of High-Aspect-Ratio Structures in Glass by Photoblasting”, Proceedings of The 7th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST-007), Besancon, France, pp.193-194, 2007.

N. Kato, T. Shibata, T. Kawashima, T. Mineta, E. Makino, “A Novel Design of AFM Probe Integrated with Hollow Microneedle for Cellular Function Analysis”, Abstract of International Meeting on AFM in Life Sciences and Medicine (AFM BioMed 2007), Barcelona, Spain, p.85, 2007.

T. Mineta, N. Kida, S. Nomura, E. Makino, T. Sugawara, S. Toh, T. Shibata, “Thrombus Sensor with a Microvascular Holding Actuator”, Proceedings of The 20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2007), Kobe, Japan, pp.545-548, 2007.

国内学会

加藤統久，柴田隆行，酒井貴浩，山中信司，川島貴弘， 「オンチップ細胞操作・機能解析システムのためのMEMSデバイスの開発」， 電気学会リニアドライブ研究会，東京，pp.89-92, 2007.

盛田慎二，峯田　貴，牧野英司，柴田隆行， 「Si エッチングによる原子間力顕微鏡用デュアルナノプローブの形成」， 2007年精密工学会東北支部講演会，八戸，pp.11-12, 2007.

棚橋祐輝，峯田　貴，牧野英司，柴田隆行， 「Ti 微細加工により形成したマイクロニードル型血流センサ」， 2007年精密工学会東北支部講演会，八戸，pp.17-18, 2007.

内山信隆，柴田隆行，川島貴弘，西林良樹，今井貴浩，峯田　貴，牧野英司， 「ダイヤモンドAFMプローブを用いたナノ計測一体型超微細加工システムの開発（第1報） －高アスペクト比を有する先鋭化ダイヤモンド探針の作製－」， 2007年度精密工学会秋季大会学術講演会，旭川，pp.849-850, 2007.

加藤統久，柴田隆行，川島貴弘，峯田　貴，牧野英司， 「細胞機能解析のためのマイクロニードル搭載型バイオプローブの開発（第2報） －多段階エッチングプロセスによるニードルの先鋭化－」， 2007年度精密工学会秋季大会学術講演会，旭川，pp.853-854, 2007.

堀内　宰，村上良彦，柴田隆行， 「微小径ドリル加工に関する研究」，2007年度精密工学会秋季大会学術講演会，旭川，pp.45-46, 2007.

加藤統久，柴田隆行，川島貴弘，堀内　宰，峯田　貴，牧野英司， 「細胞機能解析のためのマイクロニードル搭載型バイオプローブの開発（第1報） －先鋭化ニードルおよびマイクロチャネルの作製－」， 2007年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp.239-240, 2007.

中西　彬，酒井貴浩，柴田隆行，川島貴弘，堀内　宰，峯田　貴，牧野英司， 「オンチップ細胞サージェリーシステムのためのマイクロニードルアレイの開発（第2報） －ニードルの機械的強度の評価－」，2007年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp.241-242, 2007.

林　照剛，高谷裕浩，三好隆志，柴田隆行， 「DNA自律ジョイントを用いたMOEMSデバイスのセルフアッセンブリ技術の開発」， 2007年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp.303-304, 2007.

山本清陽，青山直樹，堀内　宰，柴田隆行，澁谷紀仁， 「噴射加工によるガラスの微細加工（第2報）－高アスペクト比穴加工－」， 2007年度精密工学会春季大会学術講演会，東京，pp.1127-1128, 2007.

特許

柴田隆行，「マイクロニードル搭載型バイオプローブ，およびマイクロニードル搭載型バイオプローブの作製方法」， 特願2007-222418（出願日2007.8.29）.

修士論文（2007年度）

内山　信隆，『ナノ計測一体型超微細加工システムのためのダイヤモンドAFMプローブの開発』

加藤　統久，『高機能セローム解析のためのマイクロニードル搭載型バイオプローブの開発』

中西　彬，『オンチップ細胞サージェリーシステムのためのマイクロニードルアレイの開発』

長目　淳，『微細パターニングのためのダイレクトインプリント技術の開発』

脇坂　健司，『オンチップ細胞機能制御のための圧電駆動型バイオマイクロデバイスの開発』

Sintrakarnpon Sethapon，『極小径エンドミルによる微細加工の研究』