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研究の概要


 当研究室の一貫したコンセプトは, “MEMS技術を究めナノとバイオへの架け橋を築く”ことにあります. このため,従来の固定概念から脱却し,「加工原理にとらわれない」,「加工対象にとらわれない」, 「使用部品にとらわれない」を基本理念としたマイクロ・ナノメートル領域における 次世代の“ものづくり基盤技術”の開拓にチャレンジしています. 応用分野としては,将来の“健康・安心な理想社会”の実現を支援するキーテクノロジーとなり得る MEMSデバイス・システムの創製を目指しています.現在は, ①マイクロ・ナノ構造創成技術, ②オンチップ細胞機能解析システム(Cellular MEMS), ③医用MEMS/集積化MEMS(センシング技術), ④生物融合型MEMS(アクチュエーション技術)を 4つの柱として研究を展開しています.


キーワード: MEMS/NEMS,マイクロ・ナノマシニング,BioMEMS,医用MEMS, 集積化MEMS,生物融合型MEMS,バイオアクチュエータ


研究概要